판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9240649

ADE/KLA/TENCOR 9600은 ADE에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 2006 년에 도입 된 이후, ADE 9600 (ADE 9600) 은 얇은 웨이퍼에서 소형 기능을 빠르고 정확하게 테스트 할 수있는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 산업에 널리 채택되었습니다. KLA 9600 시스템에는 고속 웨이퍼 기능 크기, 모양 및 일관성을 정확하게 측정 할 수있는 HBO (Horizontal Build Optics) 장치가 있습니다. 이 기계는 탁월한 정확도로 최대 10 um (30nm) 범위의 피쳐 크기를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 TENCOR 9600에는 최대 5um (5um) 의 고해상도 이미징 시스템이 장착되어 있어 웨이퍼 표면에 작은 기능과 결함이 있는 고해상도 이미징이 가능합니다. 또한 9600 툴은 성능 측정 분석 (Metrics analysis) 기능을 통해 프로세스 제어 및 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 에셋은 오버레이, 임계 치수 (CD), 이미지 품질, 웨이퍼 회전과 같은 메트릭을 사용하여 프로세스 조건을 신속하게 진단하고 개선합니다. 또한, 모델은 웨이퍼 서피스의 오버레이, 저항 결함 및 오염의 구성을 분석 할 수 있습니다. ADE/KLA/TENCOR 9600 장비는 높은 신뢰성을 염두에 두고 설계되었으며, 백엔드 시스템은 정적 (static) 또는 동적 (dynamic) 환경에서 지속적인 테스트를 수행하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 보정 기능, 자동 결과 처리, 신속한 이미지 분석, 자동 압력 응용 프로그램 (Automated Pressure Application) 등 모든 자동 기능으로 설계되었습니다. 또한 ADE 9600 머신은 중앙 통합 소프트웨어 플랫폼 (Central, Unified Software Platform) 과 상호 작용하여 한 웨이퍼에서 다음 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 를 추적하고 즉시 웨이퍼 결함을 감지하고 수정을 용이하게 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 이 툴은 사용자에게 수율 및 품질 데이터에 대한 빠른 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 결론적으로, KLA 9600은 반도체 및 평면 패널 디스플레이 산업에서 널리 채택되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. HBO (Horizontal Build Optics) 모델과 고해상도 이미징 시스템으로, 정확한 웨이퍼 기능 테스트, 다양한 자동화 기능, 통합 소프트웨어 플랫폼 등을 갖추고 있습니다.