판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9234990

ADE/KLA/TENCOR 9600은 반도체 제조 공정에서 품질 관리 및 프로세스 최적화를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 파퍼 (wafer) 표면과 패턴을 빠르고, 정확하고, 정확하게 특성화하여 운영자는 비용이 많이 드는 생산 수익률 손실을 최소화 할 수 있습니다. 이 시스템은 다중 이미징, 측정 및 이미지 분석 작업을 포함한 고급 비 접촉 광학 도량형 기술을 사용합니다. 8 인치 웨이퍼 검사 범위가있는 통합 컬러 CCD (charge-coupled device) 카메라와 레이저 회절 센서가 있습니다. 또한 자동 초점 장치 (auto-focusing unit) 와 빠르고 정확한 자동 패턴 인식을위한 업계 최고의 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 도량형 기계는 다양한 측정 기술을 지원합니다. 선 너비, 선 간격, 선 끝점, 선 각도 등 임계 치수를 측정할 수 있으며, 전체 선 컨투어와 같은 더 복잡한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한 다양한 두께와 박막 특성화에 대한 굴절 지수를 측정하기 위해 분광 타원 측정법 (spectroscopic ellipsometry) 을 지원합니다. ADE 9600 은 대규모 운영 배치를 평가하고 분석할 수 있는 최신 SPC (Statistical Process Control) 소프트웨어와 통합됩니다. 이 도구에는 에지 감지 (edge detection), 회색 음영 매핑 (grayscale mapping), 임계 치수 분석 (critical dimension analysis) 등 다양한 특수 소프트웨어 도구가 제공됩니다. 이를 통해 운영자는 많은 웨이퍼에서 많은 양의 데이터를 신속하게 처리하고 부적합한 단위를 쉽게 식별 할 수 있습니다. KLA 9600은 맞춤형 반도체 테스트 솔루션을 만드는 데 사용될 수있는 종합적인 프로그래밍 가능한 응용 프로그램 빌딩 환경을 자랑합니다. 여기에는 강력한 패턴 인식 알고리즘, 사용 가능한 측정 스크립트 라이브러리, C, C++ 및 Visual Basic과 같은 외부 프로그래밍 언어에 대한 완벽한 지원이 포함됩니다. 마지막으로, 에셋은 매우 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 와 결합된 고해상도 5.7 "터치 스크린 디스플레이를 특징으로합니다. 이를 통해 도량형 (metrology) 작업을 쉽게 수행할 수 있으므로 사용자 오류와 측정 수행에 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. 9600 (9600) 은 제조업체가 반도체 생산 공정의 품질과 효율성을 향상시키도록 설계된 강력한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 모델입니다. 고급 비접촉 (non-contact) 광학 도량형 기술, 업계 최고의 인식 알고리즘 및 다양한 소프트웨어 툴을 통해 사용자는 웨이퍼 표면의 결함을 신속하게 식별하고 분석 할 수 있습니다.