판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9397228

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage는 정확한 반도체 장치 측정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 3D 광 비접촉 (non-contact) 표면 이미징 기술을 활용하여 표면 피쳐와 공정 유발 결함의 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 측정을 생성합니다. 이 시스템은 또한 고급 매핑, 프로파일, GageLinx 및 검사 알고리즘을 제공하여 복잡한 웨이퍼 지형 분석 및 제어를 처리합니다. 이 장치의 광 부품 (optical component) 은 초당 최대 100,000 개의 데이터 포인트를 감지할 수 있으므로 웨이퍼 (wafer) 의 전체 지형을 포괄적으로 분석 할 수 있습니다. 또한 ADE 9520 UltraGage에는 광학 이미징 (optical imaging) 및 결함 감지 기능의 데이터를 캡처하는 고해상도 CCD 카메라가 있습니다. 이 기계는 CCD 카메라와 표면 광학 배열 (array of surface optics) 을 사용하여 크기가 1nm 이하인 표면 피쳐를 감지할 수 있습니다. 데이터 수집 외에도 KLA 9520 UltraGage 는 강력한 도량형 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어는 새로운 측정이 수집되면 자동으로 업데이트되는 높이 맵 (height map) 과 프로파일 그래프 (profile graphs) 를 포함한 전체 시각화 세트를 제공합니다. 따라서 프로세스 유발 결함을 실시간으로 파악하고 프로세스 매개변수를 조정하여 품질 관리 (Quality Control) 를 보장할 수 있습니다. 이 도구의 디지털 I/O (I/O) 및 자동화 지원을 통해 기존 프로세스 제어 시스템과 완벽하게 통합되어 제조 조건에 대한 실시간 피드를 제공합니다. 에셋의 강력한 오류 방지 (error-avoidance) 기능은 웨이퍼 프로덕션의 잠재적 문제를 감지하고 필요한 코스 수정을 시작합니다. ADE AS2 Insight 소프트웨어와 함께 9520 UltraGage는 직관적인 운영 환경을 제공하여 쉽게 설치, 조정 및 작업을 수행할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 모델은 다양한 애플리케이션에 맞게 구성되고, 장비는 리서치 (Research) 및 프로덕션 (Production) 어플리케이션 모두에 이상적인 선택이 됩니다. TENCOR 9520 UltraGage는 업계 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 형태와 결함의 빠르고, 안정적이며, 정확한 측정을 제공합니다. 강력한 도량형 분석/보고 기능과 결합된 자동화된 광/결함 감지 (optical/defect detection) 기능을 통해 최적의 품질 보증 및 프로세스 제어 기능을 제공합니다. AS2 Insight 소프트웨어 (AS2 Insight Software) 와 함께 사용할 경우, 사용자는 운영 프로세스에 대한 귀중한 통찰력을 얻고 처리량 및 비용 절감 효과를 극대화할 수 있습니다.