판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9164709

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage는 반도체 산업을 위해 정확하고 고품질 측정을 제공하기 위해 개발 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다이 앤 피처 사이즈 (die and feature size), 필름 두께 (film thickness), 코팅 (coating) 및 웨이퍼 맵 (wafer map) 도량형과 같은 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램에 대해 빠르고 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 특성을 자동으로 측정, 분석하여 통계 정보를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 매우 정밀한 측정 단위를 갖추고 있으며, X-Y (X-Y) 스테이지는 웨이퍼의 넓은 영역에 프로파일을 자동으로 매핑할 수 있습니다. 스테이지에는 선형 모터, 1 미크론 미만의 2 축 위치 정밀도 및 25 나노 미터 미만의 반복 성이 있습니다. 이 기계에는 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있어 웨이퍼 형상 (wafer geometries) 과 서피스 피쳐를 자세히 시각화할 수 있습니다. 이 도구는 또한 광시야각 (wide field of view) 을 사용하여 각도가 다른 정확한 판독값을 확보하여 측정 정밀도를 향상시킵니다. 성능 테스트의 경우, 레이저 간섭계를 사용하여 테스트 결과에 전례없는 정확도를 제공합니다. 이 제품은 고속 측정 기능, 적응형 시계 (Adaptive Clocking) 및 리터링 피드백을 제공하여 정확한 결과를 제공합니다. 이 자산에는 통합 마이크로 프로세서 (microprocessor) 와 데이터 획득 모델 (data acquisition model) 이 포함되어 있으며 측정 기준 및 데이터 입수를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 장비는 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하여, 사용자가 사용자별 매개변수를 빠르고, 쉽게 설정하고, 저장할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템에는 샘플 웨이퍼의 온도 테스트가 가능한 통합 열 챔버 (thermal chamber) 가 포함되어 있습니다. 또한 동시 테스트를 위해 최대 4 개의 열 모듈을 제어 할 수있는 프로그래밍 가능한 모듈 (modular controller) 이 있습니다. 이 기능은 수동 온도 조절 (manual temperature control) 을 필요로 하지 않으므로 정확하고 정확한 테스트 결과를 얻을 수 있습니다. 최첨단 기술과 정확한 측정 기능을 갖춘 ADE 9520 UltraGage (UltraGage) 는 반도체 업계를 위한 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 제품은 정확하고 안정적인 테스트 결과를 빠르고 쉽게 제공할 수 있도록 설계되었으며, 고품질 (High-Quality) 제품을 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다.