판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9293248
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ADE/KLA/TENCOR 9500은 ADE에서 개발 한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 테스트 (wafer testing), 광학 및 전기 검사 (optical and electrical inspection), 장치 테스트 측정 (device test measurement) 등 반도체 업계에서 다양한 어플리케이션을 위한 향상된 성능을 제공합니다. ADE 9500 은 강력한 이미지 분석 장치 (image analysis unit) 로 설계되어 반도체 웨이퍼 내부의 물리적 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 첨단 디지털 이미지 상관 관계 (Digital Image Correlation) 머신이 장착되어 있어 최첨단 기술이 적용되어 표면 및 패턴 기능을 정확하게 측정할 수 있습니다. 게다가, 이 도구에는 자동 샘플 정렬이 장착되어 있어, 빠른 웨이퍼 횡단면 분석이 가능합니다. 또한 KLA 9500은 다양한 유형의 고속 데이터를 CD, 복합 오버레이 및 처리하기 위한 고해상도 도량형 (High-resolution Metrology) 을 제공하여 장치 및 재료의 가장 안쪽 기능과 라인 너비, 임계 치수, 피치 정확도, 오버레이 정확도 등의 주요 매개 변수를 분석 할 수 있습니다. 생산성 측면에서 볼 때, 9500 은 여러 사이트와 웨이퍼에 대해 동시에 높은 처리량을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 일반적으로 유사한 작업에 필요한 시간 (일부 시간) 안에 프로젝트를 쉽게 완료할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 대규모 테스트 및 도량형 (metrology operation) 작업을 위한 수동 기술과 비교하여 탁월한 처리량을 제공하여 복잡한 작업에 소요되는 시간을 효율적으로 단축합니다. 또한, 고급 자동화 및 웨이퍼 추적 (wafer tracking) 기능을 통해 사용자는 테스트 및 도량형 프로세스의 여러 단계를 효율적으로 관리할 수 있습니다. 텐코 9500 (TENCOR 9500) 은 다목적 모델로, 반도체 연구 및 제조에서 광범위한 테스트 및 측정에 적합합니다. 고급 CCD 카메라 (CCD Camera) 와 광원 (Light Source) 이 장착되어 있어 가장 접근하기 어려운 영역에서도 기능을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 고급 알고리즘을 통합하여 가장 복잡한 장치 (device) 또는 재료 (material) 패턴과 기능을 분석할 수 있습니다. 전반적으로, ADE/KLA/TENCOR 9500은 반도체 산업의 광범위한 응용 분야에서 향상된 성능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 대규모 테스트 및 도량형 작업을 위한 높은 처리량 (Throughput) 을 제공하며, 장치와 재료의 다양한 기능을 테스트하기 위한 탁월한 정확도 및 해상도 (Resolution) 를 제공합니다. 또한, 고급 자동화 및 웨이퍼 추적 (wafer tracking) 기능은 복잡한 반도체 구조의 효율적이고 정확한 인라인 테스트 및 측정에 이상적인 도구입니다.
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