판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9281188

ADE/KLA/TENCOR 9500은 고급 반도체 어플리케이션에 대한 박막 장치 엔지니어의 요구를 충족시키기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 광범위한 도량형 (metrology) 기능을 제공하여 광범위한 프로세스 계층을 정확하게 측정할 수 있습니다. 광학 현미경, 레이저 간섭법, 산란법 (scatterometry) 및 기타 기술의 독특한 조합으로 인해 반도체 프로세스의 사전 특성화와 수율 후 문제 해결에 적합합니다. 이 장치는 웨이퍼에 박막 층의 광학, 전기, 구조 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 여기에는 표면 지형 (하위 Angstrom 해상도 사용) 및 샘플의 전기 특성을 매핑, 이미징 및 분석하는 기능이 포함됩니다. 또한, 시스템은 임계 치수 (CD) 측정, 패턴 이미징, 인라인 결함 검토 등 다양한 기능을 수행 할 수 있습니다. 또한 ADE 9500은 샘플의 자동 빠른 정렬 및 레이저 초점 최적화, 입자 검색, 다이 검색, 현장 검토, 관심 영역 확대/축소 등 여러 자동 기능을 제공합니다. 즉, 일상적인 보정을 통해 일관되고 안정적인 측정 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 특정 프로세스 단계와 다양한 사용자 요구에 맞춘 다양한 모듈식 (modular) 툴이 포함되어 있습니다. 정확한 데이터 판독값은 빠르고 정확하게 생성됩니다. 사용자는 이미지를 저장하고, 결과를 분석하고, 공유하기 위한 보고서를 생성할 수 있는 강력하면서도 직관적인 소프트웨어 (software) 를 액세스할 수 있습니다. 마지막으로, KLA 9500은 직관적이고 GUI (Graphical User) 중심의 워크플로우 도구를 통해 사용자가 보다 빠르고 간단하게 작업을 완료할 수 있도록 지원합니다. 고속 데이터 전송, 자동 데이터 전송 (Automated Data Transmission) 등의 추가 기능을 통해 원활한 작업 환경을 보장할 수 있습니다. 이것은 업계 최고의 도량형 기술과 함께, 모든 고급 반도체 응용에 적합한 선택입니다.