판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9265520

ADE/KLA/TENCOR 9500은 반도체 공정 특성을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 여러 가지 고급 "테크놀로지 '와 방법 을 결합 하여 가장 간단 한 것 에서 가장 복잡 한 구조 에 이르기 까지" 웨이퍼' 표면 의 질 을 측정 한다. 사전 처리 (pre-processing) 에서 후처리 (post-processing) 에 이르기까지 모든 웨이퍼 또는 기판의 완벽한 특성화가 가능하며, 정확한 프로세스 제어 및 장치 제조 및 수율 관리를 지원합니다. 이 시스템은 기계적, 전기적, 화학적 특성을 측정하는 다양한 센서를 사용하여 웨이퍼 표면을 평가합니다. 이 장치의 기계적 센서는 표면 지형, 접착 강도, 표면 거칠기와 같은 인자를 측정합니다. 전기 센서는 저항, 정전량 및 전류를 측정합니다. 화학 센서는 금속 산화물 필름, 도펀트 농도 수준 및 저항성과 같은 원소를 측정합니다. "센서 '는 1" 나노미터' 의 해상도 를 가지고 있으며 기계 는 두 가지 종류 의 주사 단계 로 이루어져 전체 "웨이퍼 '나 특정 한 위치 에 걸쳐 측정 을 할 수 있다. ADE 9500에는 고급 자동화 소프트웨어 (automation software) 가 장착되어 있어 센서에서 자동으로 스캐닝 및 데이터를 수집할 수 있습니다. 자동 (Automated) 명령은 제어 컴퓨터에서 공구로, 그리고 센서의 데이터를 다시 전송합니다. 수집된 데이터는 장애 분석 및 프로세스 최적화를 위해 시각화 및 분석됩니다. 이 소프트웨어에는 광범위한 데이터 처리 알고리즘 라이브러리 (Library of data processing algorithm) 가 포함되어 있어 데이터를 손쉽게 조작하고 해석할 수 있습니다. 자산은 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있으며, 사용자를 보호하고 장비의 손상을 방지합니다. ESD 공기 송풍기는 모델을 정전기 방전으로부터 보호하며, 비상 전원 끄기 (Emergency Power-off) 스위치는 과전압 상태로부터 회로와 부품을 보호합니다. 이 장비는 국제 자동화 협회 (International Society of Automation) 및 기타 안전 표준 조직의 표준을 통과하여 엄격한 안전 테스트를 거쳤습니다. KLA 9500은 반도체 산업에 필수적인 도구로서, 정확하고 효율적인 프로세스 특성을 제공합니다. 즉, 다양한 고급 기능과 로봇을 제공하여 자동화된 측정과 데이터 수집 (Data Acquirition) 을 매우 정확하게 수행하므로 프로세스를 정확하게 제어하고 관리할 수 있습니다. 이 시스템의 광범위한 안전 기능 (Safety Features) 은 사용자와 장비를 보호하므로 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 (Metrology) 의 품질이 가장 높은 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.