판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9258759

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ID: 9258759
System With ASC 2000 controller.
ADE/KLA/TENCOR 9500은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 웨이퍼 생산을위한 완전한 도량형 및 테스트 솔루션에 적합합니다. 이 시스템은 중요한 크기, 모양, 전기적 특성에 대한 웨이퍼를 테스트, 검사, 측정할 수 있습니다. 이 장치는 양면 접근 방식과 고급 비전 및 다이 투 다이 인식 (Die-to-Die Recognition) 을 통해 고속 도량형 및 높은 정확도 측정 기능을 제공합니다. 이 기계는 동적 응력 테스트, 장애 분석, 실시간 이미지 처리, 고급 장애 찾기 (fault-finding) 등의 여러 테스트 알고리즘을 제공합니다. 또한 프로세스 제어 (process control) 및 최적화 (optimization) 기능을 제공하여 생산자의 생산량을 극대화할 수 있습니다. ADE 9500 도구는 웨이퍼 양쪽에 최대 50 개의 도량형 채널을 갖추고 있어, 더 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 이 기능은 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 알고리즘을 사용하여 더 빠른 테스트와 측정을 가능하게 함으로써 증폭됩니다. 이 자산은 또한 HTML, Vßcript 및 Lab VIEW를 포함한 여러 언어 통합을 통해 현재 모든 반도체 FAB 환경에 통합 할 수 있습니다. 이 모델에는 정교한 임베디드 추적 가능성 (Embedded Traceability) 기술이 포함되어 있어 생산 추적 성과 패턴 정확성을 보장합니다. 이 추적 능력 기술 (Traceability Technology) 은 디바이스 변동의 위험을 줄여 제품과 운영 프로세스의 일관성을 보장합니다. 또한 운영 프로세스 변수와 머신 성능 (machine performance) 을 추적하여 프로세스 제어를 개선할 수 있습니다. KLA 9500의 또 다른 기능은 고제어 해상도입니다. 이는 생산 과정에서 다양한 미묘한 변형을 측정할 수 있게 해 주며, 프로세스를 최적화하여 수율을 향상시킵니다 (영문). TENCOR 9500 장비는 탁월한 웨이퍼 성능 분석을 제공합니다. 도량형 채널 (metrology channel) 의 데이터를 사용하여 프로세스 및 제품 문제를 신속하게 식별할 수 있으며, 입자 오염 (particle contamination) 또는 다이 모양 변형 (die shape variation) 과 같은 문제에 대한 더 빠른 수정 동작이 가능합니다. 전체적으로 9500은 효율적이고, 빠르고, 정확한 웨이퍼 측정 및 테스트 방법을 제공합니다. "와퍼 '는 신속 하고 정확 하게 시험 하고 검사 하고 측정 할 수 있으며, 생산자 들 이 생산량 을 극대화 하고 가변성 을 최소화 할 수 있게 해 준다. 고급 기능, 고성능 기능을 갖춘 이 시스템은 반도체 웨이퍼 (wafer) 생산을 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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