판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9250505

ADE/KLA/TENCOR 9500은 반도체 산업을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 웨이퍼 프로세스 (wafer process) 에 대한 다중 모달 도량형과 함께 종합적인 웨이퍼 검사 기능을 제공하는 고급 도구입니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 및 모션 제어 (Motion Control) 와 고급 검사를 결합하여 광범위한 도량형 애플리케이션을 위한 최대의 유연성을 제공합니다. ADE 9500 시스템은 고도의 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling unit) 를 사용하여 정밀 웨이퍼 측정 및 테스트를 위해 정확한 모션 제어를 지원합니다. 이 기계는 3 차원 스캔 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 자세한 이미지를 제공합니다. 이 도구는 또한 통합 디지털 현미경 (integrated digital microscopy) 을 특징으로하여 웨이퍼 테스트에 더 큰 초점 제어 및 정확성을 제공합니다. KLA 9500 자산에는 구성, 형태 및 곡물 구조 등 다양한 프로세스 매개변수의 특성화와 물리적 치수, 도펀트 농도 등 다양한 파크의 측정을 포함하여 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 에 대한 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 웨이퍼 결함 식별 (wafer defect identification) 및 특성화를위한 모듈이 포함되어 있으며, 결함 분석을 위해 사용자 정의 마스크를 자동으로 감지하고 배치할 수 있습니다. 이 장비에는 오버레이 측정을위한 기능도 포함되어 있으며, 반도체 부품의 정확한 등록을위한 기능을 제공합니다. TENCOR 9500 도량형 시스템은 표면 시트 저항성 테스터, 결함 유형, 표면 검출기 등과 같은 다른 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구와 완전히 통합 될 수 있습니다. 이를 통해 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 완벽하게 통합할 수 있습니다. 이 장치는 구성 능력이 뛰어나 특정 프로세스 및 디바이스 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). 9500은 강력한 사용자 친화적 툴로서, 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 포괄적인 기능을 제공합니다. 고급 검사 (Advanced Inspection) 기능과 광범위한 통합 옵션을 통해 반도체 도량형 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 이 도구는 사용하기 쉽고 안정성이 높고 정확하여 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 에서 탁월한 결과를 제공합니다.