판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9131249

ADE/KLA/TENCOR 9500은 광학 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼의 특성을 분석하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 수작업 (manual interaction) 의 필요성을 최소화하면서 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 최대 200mm 웨이퍼 (wafer) 의 대형 웨이퍼 용량을 갖추고 있으며, 이는 업계에서 가장 높은 용량입니다. ADE 9500은 High-NA (Numerical Aperture) Infinity Optics 플랫폼을 사용하여 뛰어난 이미지 품질과 높은 정확도를 측정합니다. 미드필드, 엣지 필드, 원형 및 동시 광학 테스트를 포함한 다양한 검사 모드를 사용할 수 있습니다. KLA 9500은 자동 웨이퍼 (wafer) 측정 기능을 제공하여 검사 매개변수를 실시간으로 조정하고 최적화하여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 다양한 형상과 구조를 가진 웨이퍼 (wafer) 의 광범위한 데이터를 캡처할 수 있는 가변 공간 해상도의 고속 이미징 (high-speed imaging) 분광법 단위가 특징입니다. 또한 TENCOR 9500은 광범위한 자동 도량형 기능을 제공합니다. 이 기계는 분광 타원 측정법, 고 처리량 웨이퍼 수명 테스트, 분광 광도 반사 측정법 (Spectrophotometric reflectometry) 중에서 몇 가지를 선택할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 레이어의 특성화를위한 전체 서비스 도구 (full-service tool) 와 도량형 및 비파괴 테스트 어플리케이션을위한 정교한 패턴 인식 기능 (pattern recognition) 이 포함되어 있습니다. 이 툴에는 제어 에셋 (control asset) 과 프로그래밍 가능한 계산기 (programmable calculator) 가 장착되어 있어 실시간 매개변수를 조정하여 데이터 수집을 최적화할 수 있습니다. 첨단 기술과 기능 덕분에 9500 은 복잡한 도량형 모델링 및 검증을 위한 이상적인 환경을 구축합니다. 워퍼 테스트 (Wafer Testing) 를 위한 가장 포괄적인 도구 세트를 제공하여, 수작업 프로세스에 비해 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). ADE/KLA/TENCOR 9500은 제조업체가 생산 공정을 가속화하면서 우수한 반도체 웨이퍼를 제공하는 강력한 도구입니다.