판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9256684
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ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage는 제조 된 반도체 웨이퍼에서 미세 구조와 표면 변화를 감지하고 디지털 방식으로 측정하도록 설계된 완전 자동화, 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 생산 공정을 모니터링하는 데 사용되며, 제조업체는보다 안정적인 제품을 만들 수 있습니다. 또한 ADE 9500 UltraGage (UltraGage) 는 수율 및 품질 관리 측면에서 일관성을 보장하며, 제조업체는 각 웨이퍼가 기능 측면에서 고객의 기대에 부응하도록 보장합니다. KLA 9500 UltraGage는 광학 이미징 (Optical Imaging) 과 자동 접촉 (Automated Contact) 측정의 조합을 사용하여 미세 구조와 표면 변화를 정확하고 효율적으로 감지하고 디지털로 측정합니다. 이러한 광학 이미징 시스템은 듀얼 카메라 (Dual Camera) 장치를 사용하여 높은 정확도의 고해상도 이미지를 캡처합니다. 또한, 이미지는 참조 이미지와 비교하여 이들의 편차를 다이 레벨 (die-level) 형상까지 측정합니다. 이 장치는 기능의 크기, 모양, 위치 및 방향, 기판 거칠기, 평면도 (flatness) 와 같은 웨이퍼 형상의 모든 측면을 측정할 수 있으며, 제조업체가 필요한 사양을 충족하도록 도와줍니다. 이 기계는 또한 자동화된 접촉 (automated contact) 및 비접촉 (non-contact) 측정 기능을 사용하여 기판 및 기능 결함을 식별하고 분석하여 제조업체가 문제가 되기 전에 모든 문제를 감지하고 해결할 수 있는 기회를 제공합니다. 또한 TENCOR 9500 UltraGage (UltraGage) 는 기능 코너에서 도펀트 밀도를 측정 및 분석하여 제조업체가 자사의 제품이 도펀트의 적절한 분포와 농도를 갖도록 도와줍니다. 9500 UltraGage는 모니터링 및 측정 프로세스 외에도 대규모 3D 시각화 (Visualization) 기능을 제공하여 표면 변형 및 미세 구조의 효과를 파악하고 관찰 할 수 있습니다. 또한, 정교한 추적 분석 도구 (trace analysis tools) 를 통해 제조업체는 생산 문제를 신속하게 감지하고 해결하여 운영 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage (UltraGage) 는 모든 반도체 웨이퍼 제조업체에 유용한 툴로서, 생산 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 고객의 기대에 부합하는 안정적이고 일관된 제품을 생산할 수 있습니다.
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