판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9249958

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage는 웨퍼 테스트 및 도량형 장비로, 결합 된 웨이퍼에서 에치, 증착 및 접촉 구멍 정렬에 대한 안정적이고 빠른 테스트 방법을 제공합니다. 이 시스템은 제조 환경에서 프로세스 도량형 애플리케이션 (Process Metrology Application) 을 손쉽게 구축할 수 있도록 설계되었으며, 사용자는 제품의 품질을 손쉽게 모니터링하고 측정할 수 있으며, 제품의 무결성과 성능을 보장할 수 있습니다. 이 장치는 고유 한 레이저-광학 피드백 메커니즘을 사용하여 제조 과정에서 발생하는 미크론 (micron) 수준의 기하학적 변화를 측정합니다. 광학은 서피스 높이, 측면 위치, 각도 방향 등 세 개의 매개변수를 측정합니다. 이를 통해 기계는 다양한 광학 프로브 (optical probe) 와 센서 (sensor) 를 사용하여 웨이퍼 지형을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 선형 (linear) 단계를 사용하여 웨이퍼를 위치로 이동하고 필요한 측정을 제공합니다. 또한 레이저-광학 피드백 메커니즘을 사용하여 에치 깊이, 증착 두께 및 접촉 구멍 정렬을 측정할 수 있습니다. ADE 9500 UltraGage는 또한 사용자 제어를 위한 강력한 자산을 제공합니다. 터치스크린 편의 패널은 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 쉽게 작업할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 빠르게 매개변수를 설정하거나 수정하고, 측정을 시작하고, 결과를 볼 수 있습니다. 프로세스 데이터를 기록하여 동향을 모니터링하고, 시간에 따른 정확도를 비교하는 데 사용할 수도 있습니다. 이 모델의 혁신적인 광 설계는 유연하고 정확한 테이블 스캔을 보장합니다. "와퍼 '가 가장자리 에서 가장자리 까지의 연속적 인 움직임 으로 주사 되도록 광학 장치 를 동력 기지 에 저장 한다. 이는 엄격한 공차에도 최고 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. KLA 9500 UltraGage는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 프로세스 도량형 애플리케이션을 안정적이고 신속하게 분석합니다. 고급 레이저 옵티컬 피드백 (laser-optical feedback) 메커니즘과 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 제품의 무결성과 성능을 정확하게 테스트하고 측정할 수 있습니다.