판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9248218

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage는 자동 결함 검사, 박막 및 표면 도량형 기술, 결함 검토를 단일 플랫폼으로 결합한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. ADE 9500 UltraGage 는 Wafer 수준의 프로세스 제어를 위한 탁월한 매핑 및 분석 기능을 제공하여, 생산량에 영향을 미치는 결함을 소스에 측정, 분류, 추적할 수 있습니다. KLA 9500 UltraGage는 5nm까지 결함 감지 기능을 갖춘 매우 민감한 자동 결함 검사 시스템을 제공합니다. 통합 디지털 이미지 분석 장치 (Integrated Digital Image Analysis Unit) 는 분류 목적으로 데이터를 자동으로 식별하고 수집하여 반자동 결함 검토를 가능하게 합니다. 이 기계는 또한 박막, 와이어, 렌즈 및 기타 표면에 대한 자동 시리즈 측정 기능을 제공합니다. 패러데이 컵 기술, 레이저 스캐닝 초점 기술, 회전 공명 기술, 광학 산란 기술 및 X-ray 기술과 같은 여러 측정 기술이 적용된 9500 UltraGage는 다양한 종류의 필름 두께, 깊이, 프로파일, 평균 영역, 라인 너비, 에지 러프 네이트, 투사 패턴 및 포어 패턴. 이 도구는 더 빠른 신호/이미지 처리 능력, 높은 처리량, 높은 안정성, 더 넓은 감지 범위 등을 갖춘 최적의 성능을 위해 설계되었습니다. TENCOR 9500 UltraGage에는 자동 스캔/초점/조명 기능, 자동 코팅 필름 두께 측정, Snell의 법칙 비교, 스펙트럼 좁은 밴드 이미징 등 고급 광학 검사 기능도 있습니다. 이 자산은 또한 밝은 현장 모니터링, 다크 필드 이미징, 위상 시프트 이미징, 멀티 윈 이미징 및 기타 이미지 분석 기능을 지원하여보다 정확하고 정확합니다. ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage 모듈식 설계를 통해 고객은 3D 이미징, 대규모 결함 검토, 고밀도 패턴 인식 옵션 모듈을 통해 특정 애플리케이션에 대한 테스트 모델의 기능을 최적화할 수 있습니다. 또한 엄격한 OEM 소프트웨어와 동기화하여 측정 및 분석 프로세스를 고객의 기존 시스템과 통합합니다. 마지막으로, 소프트웨어 제어 솔루션은 포괄적인 데이터 관리 및 보고 기능을 제공합니다. 전반적으로, ADE 9500 UltraGage는 최고 수준의 정확성, 유연성 및 속도를 제공하는 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이는 수익률에 영향을 미치는 결함을 정확하게 파악하고, 프로세스를 최적화하고, 궁극적으로 제품 수출을 향상시키는 데 도움이 됩니다.