판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9236458

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ID: 9236458
System.
ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 웨이퍼 크기에 걸쳐 1 ~ 2 나노미터 해상도를 지원합니다. 여러 개의 독립 빔 (beam set) 을 지원하는 기능이 있습니다. 즉, 더 높은 처리량과 동시에 여러 샘플을 정확하게 측정할 수 있습니다. ADE 9500 UltraGage 장치의 핵심 요소는 웨이퍼 측정이 가능한 멀티 빔 옵틱 및 이미징 시스템입니다. 측정 을 정확 하게 하기 위하여, 기계 는 "웨이퍼 '의 각 특정 한 지점 에 조종 할 수 있는 여러 개 의" 빔' 으로 구성 된 "레이저 '광학" 트레인' 을 가지고 있다. 각 빔에는 자체 CCD 이미징 도구가 있으며, 이는 고해상도 이미징을 보장하도록 최적화되어 있습니다. 이 이미징 에셋을 사용하면 정확도가 떨어지지 않고 큰 기능을 측정할 수 있습니다. 또한 KLA 9500 UltraGage에는 강력한 이미지 처리 모델이 장착되어 있어 자동화된 기능 인식, 3D wafer 이미징, 자동 결함 분석 등 다양한 기능을 제공합니다. 이미지 분석 (image analysis) 알고리즘은 이미징 데이터를 처리하여 각 이미지에서 원하는 매개변수를 추출하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 프로세스의 정확도와 속도가 향상되고, 수동 (manual) 평가에서 발생하는 일반적인 오류가 줄어듭니다. 9500 울트라 게이지 (UltraGage) 의 자동 레이저 제어 장비는 레이저 빔과 광학 열차를 정밀하게 조작합니다. 이 시스템은 블로킹 (blockable) 이 가능하고 사용자 지정 (user-customizable) 이 가능하도록 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 특별히 구성된 테스트 프로토콜을 생성할 수 있습니다. 또한 TENCOR 9500 UltraGage는 데이터 로깅 및 보고서 작성을 자동화하여 정확한 측정이 가능합니다. 데이터를 실시간으로 보고 처리하여 결과에 대한 피드백을 제공하므로 프로세스 제어 (process control) 와 프로세스 모니터링 (process monitoring) 을 보다 효과적으로 수행할 수 있습니다. ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형에 적합한 솔루션입니다. 강력한 기능, 능력있는 기술로, 이 장치는 최소한의 노력으로 정확한 측정을 제공할 수 있습니다. 즉, 사용자가 안정성과 신뢰도가 매우 높은 웨이퍼를 정확하게 측정할 수 있습니다.
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