판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #133688
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판매
ID: 133688
Wafer dimensional measurement system
Includes:
Main body / head unit
Cassette loader
UPS
Test sample
Missing computer.
ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage는 다양한 웨이퍼 지오메트리와 어플리케이션에서 높은 정확성과 안정성을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고급 시스템은 테스트 중인 장치의 모양, 크기, 형태를 측정하고 제어하기 위해 특별히 설계된 4 "XYZ (XYZ) 단계를 갖추고 있습니다. 고급 기능에는 2 차원 (2D) 측정, 3 차원 (3D) 측정, 뒷면 측정 및 정렬 및 배치 측정이 포함됩니다. 이 장치는 감도 조정 및 웨이퍼 (wafer) 보정을 자동화하여 사용자 개입 없이 매우 정확한 결과를 제공합니다. 32비트 DSP (Real-Time 64-bit Digital Signal Processor) 및 프로그래밍 가능한 컨트롤러로 ADE 9500 UltraGage는 몇 분 안에 신호 처리 및 데이터 로깅 작업을 생성할 수 있습니다. 또한, 기계는 웨이퍼 추적 및 매핑, 다이 투 다이 평가, 레시피 모듈 및 컨투어링에 사용될 수 있으며, 광범위한 도량형 요구를 충족시킬 수 있습니다. KLA 9500 UltraGage는 1.5 미크론 크기의 웨이퍼 세부 사항을 캡처 할 수있는 이미징 도구를 사용합니다. 이것은 고급 신호 처리 알고리즘과 결합하여 3.5 나노 미터 (Nanometer) 의 작은 기능을 정확하게 식별하고 매핑 할 수 있습니다. 다른 기능으로는 패턴 인식, 교차 수정 및 자동 임계 처리가 있습니다. 데이터 정확성을 높이기 위해 에셋에는 환경, 소음, 드리프트 및 그림자 효과를 제거하기위한 파형 (waveform) 처리 알고리즘이 장착되어 있습니다. 이 기능은 "서명 (Signature)" 이라고하며 웨이퍼의 스팟 테스트에서 사용되므로 웨이퍼 간의 실시간 비교가 가능합니다. 시그니처 (Signature) 모드는 사용자가 테스트 중인 장치의 초점, 기울기, 반복성을 측정하는 데 도움이 됩니다. 또한 9500 UltraGage 는 최대 500 개의 레시피 (레시피) 와 최대 25,000 프레임의 비디오 (비디오) 를 저장할 수 있으며, 이를 통해 필요한 모든 데이터를 사용하여 상세한 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한 패턴 인식 (pattern recognition) 과 고급 기능 감지 (advanced feature detection) 를 통해 직관적인 사용자 환경을 제공합니다. 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해, TENCOR 9500 UltraGage는 향상된 웨이퍼 테스트 및 도량형 결과를 위해 고급 진동 및 온도 보상 모델로 설계되었습니다. 즉, 이미지 저장 기능이 통합되어 있어 이미지, 분석, 보고서를 빠르고 효율적으로 액세스할 수 있습니다. 4 "의 최대 웨이퍼 크기로, 작고 큰 웨이퍼에서 빠르고 쉽게 테스트 및 도량형 작업을 수행 할 수 있습니다. ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage는 강력하고 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 광범위한 웨이퍼 지오메트리 및 어플리케이션에서 우수하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 프로세서와 정교한 알고리즘으로 구축된 ADE 9500 UltraGage (UltraGage) 는 빠르고 안정적인 테스트를 제공하며, 효율적이고 정확한 도량형 결과를 통해 경쟁력을 유지할 수 있습니다.
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