판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9350 #9128720

ADE/KLA/TENCOR 9350은 사진 석판화, 화학 기계 연마 (CMP) 및 증착을 포함한 다양한 프로세스에 적합한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 구성 요소, 통합 도량형 및 웨이퍼 검사 하위 시스템, 제어 하위 시스템으로 구성됩니다. 통합된 서브시스템은 효율적인 테스트 및 도량형 프로세스 (metrology process) 를 가능하게 하며, 이 장치를 여러 산업 목적으로 이상적인 선택으로 만듭니다. 통합 도량형 및 웨이퍼 검사 하위 시스템은 고해상도 이미징 광학 장치, 추가 조명 도구, 자동 도량형 머신 (metrology machine) 으로 구성됩니다. 이미징 광학은 미세한 이미징, 피쳐 측정, 결함 특성, 컨투어 매핑 등 포괄적인 분석을 허용합니다. 조명 도구 (lighting tools) 는 웨이퍼의 균일 한 조명을 가능하게하며, 이는 광도에서 극도로 인한 이미지 수차를 줄이는 데 도움이됩니다. 자동 도량형 도구 (Automated Metrology Tool) 는 웨이퍼 이미지를 여러 각도에서 즉시 캡처하고 저장하여 상세한 분석 및 특성을 제공합니다. ADE 9350 의 제어 하위 시스템은 고성능 컨트롤러와 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 로 구성됩니다. 이 컨트롤러는 프로세스 매개 변수를 제어하는 데 사용되며, GUI 를 사용하면 자동화된 테스트/도량형 (automated testing and metrology) 프로세스를 설정하고 획득한 데이터를 실시간으로 볼 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 GUI 를 통해 다른 wafer 이미지를 저장할 수 있습니다. 이 이미지는 비교 목적으로 액세스할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 데이터 처리 (예: 결함 인식, 패턴 인식, 프로세스 제어) 를 수행할 수 있습니다. 전반적으로, KLA 9350은 효율적이고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 많은 산업 응용 프로그램에 적합합니다. 통합 도량형 (Integrated Metrology) 및 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 하위 시스템은 웨이퍼의 종합적인 분석 및 특성을 제공하는 반면, 제어 하위 시스템은 사용하기 쉽고 자동 테스트 및 도량형 프로세스를 허용합니다. 이 두 서브시스템의 조합은 웨이퍼의 정확하고 신뢰할 수있는 테스트 (testing) 와 도량형 (metrology) 을 가능하게하여 모델을 많은 프로세스에 이상적인 선택으로 만듭니다.