판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9300 #9265420

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ADE / KLA / TENCOR 9300
판매
ID: 9265420
웨이퍼 크기: 8"
Ultrascan wafer inspection system, 8".
Advanced DesignADE/KLA/TENCOR 9300 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 고급 광학 도량형 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 다양한 효율적인 검사 기능을 갖춘 크고 통합 된 4 축 도량형 헤드가 특징입니다. ADE 9300 은 최대 4 개의 샘플을 동시에 측정하여, 얇은 필름 구조와 굵은 필름 구조를 동시에, 정확하게 측정할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 시스템의 4 축 도량형 헤드에는 파장 튜닝 가능한 다이오드 레이저, 넓은 스펙트럼 범위, 정교한 광학이 장착되어 있어 빠르고, 안정적이며, 매우 정확한 측정이 가능합니다. 고해상도 카메라는 정확한 측정이 가능하며, 공간 해상도가 높으면 감지 감도가 좋습니다. 또한 KLA 9300 에는 손쉬운 정렬 및 샘플 처리를 위한 통합 샘플 단계 (sample stage) 와 정확한 측정을 위한 전문 샘플 지원 암 (supported arm) 이 포함되어 있습니다. TENCOR 9300은 다이 레벨 도량형, 박막 측정, 프로세스 감지 등 다양한 응용 프로그램을 제공합니다. 유연한 설계를 통해 기존 공장 자동화 (Factory Automation) 솔루션에 통합할 수 있으며, 모듈성을 통해 다양한 생산 요구에 맞는 다양한 검사 (Inspection) 기능을 제공합니다. 9300 의 통합 도량형 (integrated metrology) 기능은 설치와 작동이 용이하므로 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 강력한 소프트웨어는 다이 레벨 도량형에서 박막 측정에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을 정확하게 제공합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 직관적이고 쉽게 작동할 수 있습니다. ADE/KLA/TENCOR 9300 의 고급 Optic 및 구성 가능한 소프트웨어는 안정적이고 반복 가능한 측정값을 보장하며, 이를 통해 운영 수익률을 최적화할 수 있습니다. 자동화된 정렬 (automated alignment) 기능을 통해 빠르고 쉽게 설정할 수 있으며, 따라서 시간이 민감한 애플리케이션에 적합합니다. 요약하자면, ADE 9300 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 측정이 필요한 애플리케이션에 가장 적합한 솔루션입니다. 통합 된 4 축 도량형 헤드, 유연한 샘플 스테이지, 특수 샘플 지원 암, 고해상도 카메라, 사용자 친화적 인 소프트웨어로 다양한 생산 요구에 적합합니다.
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