판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 780 MRT #9132937

ADE/KLA/TENCOR 780 MRT는 반도체 제조를위한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 웨이퍼 (wafer) 프로세스를 특성화하고 프로세스 결함을 파악하고, 프로세스 성능에 대한 통찰력을 제공하며, 결국 제조 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. ADE 780 MRT는 2 개의 측정 헤드를 특징으로하며, 각 헤드에는 웨이퍼 표면의 전기 특성을 측정하기위한 센서와 웨이퍼 표면의 상세한 이미징을위한 이미지 캡처 시스템 (Image Capture System) 이 포함되어 있습니다. 이러한 측정 헤드는 웨이퍼 스펙트럼 반사율, 결함 이미징, 전기 누출 측정, 웨이퍼 평평 및 워프 측정을 수행합니다. 두 개의 측정 헤드를 동시에 사용하여 인라인 (in-line) 및 오프라인 (off-line) 측정을 모두 제공할 수 있습니다. 웨이퍼는 인라인 (in-line) 으로 처리 할 수 있으며 다른 헤드는 실시간 측정 준비가되었습니다. 이 기능을 통해 운영 주기 (Production Cycle) 의 결함을 조기에 감지하고 프로세스 개선 또는 결함 예방에 대한 신속한 피드백을 얻을 수 있습니다. 인라인 측정을 사용하여 프로세스의 다양한 측면 (예: 웨이퍼 청결, 유전체 레이어 두께, 평평) 을 추적할 수 있습니다. 그런 다음 오프라인 측정을 사용하여 결함을 감지하고 특성화하고, 불균일성을 처리하며, 표면 거칠기, 산화물/실리콘 비율, 오염 수준 등의 중요한 사양을 모니터링할 수 있습니다. KLA 780 MRT는 또한 광범위한 분석 기능을 제공하여 테스트 대상 재료에 대한 자세한 정보를 제공하므로 웨이퍼 (wafer) 와 다양한 웨이퍼 로트 (wafer lot) 사이의 트렌드를 신속하게 이해할 수 있습니다. 이 단위는 측정에서 수집한 데이터의 다중 매개변수 산포 다이어그램 (multi-parameter spatter diagram) 을 생성하여 문제를 식별하고 수정 작업을 안내할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 측정에서 수집 한 데이터를 분석하는 다양한 도량형 (metrology) 관련 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. 이 솔루션은 상세한 보고서를 제공하고, 통계 분석을 수행하고, 웨이퍼 (wafer) 의 다양한 사이트와 다양한 웨이퍼 로트 (wafer lot) 의 데이터를 비교할 수 있습니다. 780 MRT는 다용도가 높으며, 먼지 방지 캐비닛, 자동 웨이퍼 스태이징 도구, 통합 모니터링 자산, 온도/습도 제어 등 다양한 하드웨어 옵션을 통해 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR 780 MRT는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 포괄적이고 다양한 플랫폼을 제공하여 고객이 웨이퍼 프로세스를 최대한 활용할 수 있도록 합니다. 프로세스 문제를 신속하고 정확하게 파악하고 분류하는 데 도움이 되고, 수정 작업에 필요한 정보를 제공합니다 (영문).