판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 7000 #98411

ADE/KLA/TENCOR 7000은 etch, deposition, resistivity, alignment 등의 제조 공정의 성능을 측정하고 모니터링하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 고급 도구와 기술을 사용하여 직경 200 밀리미터 웨이퍼를 검사하고 측정 할 수 있습니다. ADE 7000은 고속 스캔 헤드, 3 차원 척, 비전 유닛 및 프로세스 제어 소프트웨어의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스캔 헤드에는 AlignMark (TM) 비전 머신이 장착되어 있으며, 이 머신은 웨이퍼에서 초당 최대 수천 개의 위치를 측정 할 수 있습니다. 3 차원 척 (chucks) 은 완전한 3 차원 측정 기능을 가능하게하며, 연산자가 더 정확한 측정을 위해 웨이퍼의 특정 컴포넌트 위치를 조정할 수 있습니다. 비전 도구는 강력한 광학 현미경으로 구성되며, 이 현미경은 x-y 치수 (x-y dimension) 와 선 너비 (line width) 와 같은 중요한 장치 매개변수를 측정할 수 있습니다. KLA 7000은 또한 RS232 인터페이스를 갖추고 있으며 대부분의 다른 표준 컴퓨터에 연결할 수 있습니다. 이를 통해 자산은 임피던스 분석기 (impedance analyzer) 와 같은 다른 장비와 상호 작용하여 웨이퍼의 저항성을 측정 할 수 있습니다. 또한, 여러 가지 고급 데이터 분석 및 보고 (Reporting) 기능이 모델에 내장되어 있어 자세한 그래픽 결과를 제공합니다. 이 장비는 또한 제조 과정에서 손쉽게 조정, 모니터링할 수 있는 프로세스 매개변수 (process parameter) 의 전체 목록을 제공합니다. 이를 통해 연산자는 측정 정밀도를 극대화하고 일관된 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 사용자 정의가 가능하며, 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 전반적으로, 7000은 정확하고 안정적인 측정 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 강력한 광학 현미경, 3 차원 척, 고속 스캔 헤드, 프로세스 제어 소프트웨어를 제공하여 다양한 제조 공정의 정확한 결과를 보장합니다. 또한, 이 시스템은 사용자 정의가 용이하며, 다양한 고급 데이터 분석/보고 기능을 제공합니다.