판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 7000 #9018651

ADE/KLA/TENCOR 7000은 웨이퍼 재료에 대한 종합적인 성능 평가를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 장치는 필요한 도구와 측정 기능을 갖춘 테스트 헤드 모듈 (Testing Head Module) 을 포함한 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이 모듈은 웨이퍼 지형, 결함 크기, 서피스 오염 레벨, 도핑 레벨, 시트 저항 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 모듈에서는 표준 (Standard) 패라메트릭 (Parametric) 테스트 외에 다양한 유형의 테스트를 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 고속 웨이퍼 특성화가 가능한 OSA (Onboard Spectrum Analysis) 하위 시스템도 포함되어 있습니다. 이 하위 시스템은 라만 분광법 (Raman spectroscopy) 을 사용하여 광학 특성을 측정하여 테스트되는 재료의 구성과 순도 (purity) 에 대한 통찰력을 제공합니다. 통합 광학 엔진은 완전히 보이는 스펙트럼을 통해 Raman 스펙트럼을 캡처합니다. 이 기계에는 테스트 중 웨이퍼 내부를 검사하기 위해 고해상도 (High-resolution) 비디오 카메라가 장착되어 있습니다. 이 카메라는 재료의 결함을 식별하는 데 사용되는 선명한 이미지를 캡처합니다. 사용자는 다양한 사진 (photolithography) 레이어를 통해 측정할 도구를 사용자정의하여 개발 프로세스 매개변수 (development process parameter) 를 결정할 수도 있습니다. 이 자산은 다양한 테스트 기술의 조합을 통해 정확한 결과를 얻도록 설계되었습니다. 따라서 모델은 신뢰성 및 추적 성을 위해 ISU (International Standard Units) 로 추적 가능한 웨이퍼 물리적, 전기 및 광학 테스트 결과를 생성 할 수 있습니다. 또한, 테스트 완료 시 타사 인증 보고서를 생성할 수도 있습니다. ADE 7000 은 Windows 기반 운영 장비로 구동되므로 사용자 친화적이며 작동이 간편합니다. 사용자는 시스템의 테스트 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 wafer test (웨이퍼 테스트) 를 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 또한 샘플 재료의 테스트 및 비교 결과를 요약하는 보고서를 생성합니다. 또한, 이 시스템은 다른 소프트웨어 솔루션과 통합되어 빠르고 효율적인 데이터 전송을 가능하게 합니다. 전체적으로 KLA 7000은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 포괄적 인 솔루션입니다. 다양한 기능으로, 이 도구는 정확성과 정확도로 다양한 매개 변수를 측정 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 자산을 사용하고 데이터를 전송할 수 있습니다 (영문). 이러한 기능을 함께 사용하면 모델이 모든 운영 라인의 요구를 충족할 수 있습니다 (영문).