판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 6034 #9162772

ADE/KLA/TENCOR 6034 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 전자동 검사기로, 생산 전 반도체 검사 및 도량형에 적합합니다. 이 제품은 타의 추종을 불허하는 인라인 (in-line) 및 오프라인 웨이퍼 (offline wafer) 검사 성능을 제공하여 빠른 최종 수익률과 격리를 가능하게 합니다. ADE 6034 시스템은 White Light Scatterometry, Color Imaging 및 SLRD를 포함한 최신 웨이퍼 표면 분석 기술을 사용합니다. 이러한 기술 조합을 통해 결함, 입자 오염, 스크래치, 에지 치핑 (edge chipping) 또는 기타 이상이 발견되어 빠르고 정확하게 식별됩니다. 이 장치는 평생 동안 높은 신뢰성을 달성하고, 최소 스크랩 레이터 (스크랩 속도) 를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 웨이퍼 센터 (wafer's center) 의 에지 관찰, 이상 분석 및 신뢰할 수있는 분류를 허용하는 고해상도 CCD 카메라를 사용합니다. 따라서 각 주기에서 신뢰할 수있는 검사 결과가 제공됩니다. 또한 KLA 6034 는 강력한 소프트웨어 엔진과 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 을 활용하여 일관되고 안정적인 데이터를 빠르고 정확하게 생성할 수 있습니다. 초기 제작 단계에서 lineedge roughness, linewidth, metal analysis, topography mapping 등 모든 종류의 결함 또는 이상을 감지 할 수 있습니다. 즉, 가장 정확하고 신뢰할 수 있는 프로세스 데이터를 최단 시간 내에 얻을 수 있습니다. TENCOR 6034는 또한 고도의 다이 내 도량형을 제공합니다. 브라이트 필드 검토, 광학 현미경, 임계 치수 (CD) 측정, 오버레이 측정 및 SAT 서기관 라인 검토와 같은 여러 기술을 통합합니다. 이렇게 하면 크기, 복잡도에 관계없이 모든 샘플을 완벽하게 측정할 수 있습니다. 6034는 운영 중단을 줄여 비용을 절감합니다. 기존 반도체 제조 라인에 손쉽게 통합할 수 있으며, 오프라인/인라인 프로세싱에 모두 사용할 수 있습니다. 이 툴은 모든 운영 프로세스의 최대한의 최적화를 보장하여 처리량 (throughput) 을 높이고 출시 시간을 단축합니다. 마지막으로, 자산은 데이터 처리량을 높여 데이터 처리량을 단축하고 주기 (cycle) 시간을 단축합니다. 또한, 현재 시판되고 있는 가장 안정적이고, 강력하고, 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다.