판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 6034 #293654292

ADE 64-4는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 도구는 웨이퍼 테스트 (Wafer Test) 및 측정 프로세스 (Measuration Process) 와 관련하여 최고의 성능을 제공하도록 설계 및 개발되었습니다. 간섭법을 사용하여 마이크론 수준의 정확도로 웨이퍼 (wafer) 의 기능을 측정하는 최첨단 광학 감지 기술에 의존합니다. 시스템 자체는 다수의 구성 요소로 구성된 모듈식 (modular) 아키텍처를 중심으로 구축되었습니다. 이러한 구성 요소에는 컨트롤러 장치, 테스트 및 도량형 헤드, 웨이퍼 스테이지 및 레이저 소스가 포함됩니다. 컨트롤러 장치에는 사용자에게 친숙한 터치스크린 인터페이스 (TouchScreen Interface) 가 있으며, 이를 통해 사용자가 정확한 요구 사항에 맞게 장치를 구성할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 데이터 출력 형식 (data output format) 을 지원하므로 수집된 데이터를 쉽고 빠르게 분석, 저장할 수 있습니다. KLA 64 34의 주요 기능은 워밍업 도구입니다. 이 자산은 시작 (startup) 시 가동 중지 시간을 줄이고, 모델이 항상 작동할 준비가 되어 있는지 확인합니다. 또한, 장비는 여러 가지 안전 기능을 염두에두고 제작되었습니다. 여기에는 과전류 및 과전압 보호, 백업 전원 공급 장치 등이 포함됩니다. 시스템의 테스트 및 도량형 헤드에는 정확한 측정이 가능한 AMOS (Advanced Micro-Optical Unit) 가 있습니다. 이것은 측정에 고정밀 간섭계를 사용하며, 이는 다양한 정확도 수준을 제공합니다. 예를 들어, 기계는 1 미크론의 정확도로 측정할 수 있습니다. 또한, 테스트 및 도량형 헤드는 0.03 미크론 수준까지 베어링 움직임을 감지 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테이지는 표본을 고정시키는 조절 가능한 암입니다. 고정 레벨 방향을 유지하면서 4 인치 웨이퍼 서피스를 가로 질러 이동할 수 있습니다. 따라서 표본의 크기에 관계없이 정확한 측정이 가능합니다. 전체적으로 TENCOR 64/4는 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 높은 수준의 정확성과 성능을 제공합니다. 모듈식 설계, 안전 (Safety) 기능, 워밍업 (Warm-up) 자산이 모두 통합되어 와퍼를 테스트하고 측정할 수 있는 안정적이고 효율적인 툴을 제공합니다. 이 모델은 페더-라이트 (feather-light) 측정 및 정확도가 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.