판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 6033 #9162771

ADE/KLA/TENCOR 6033 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 장치 치수, 임계 DC 및 MOSFET에 대한 AC 전기 매개변수, 양극성, 저항, 커패시터, 비휘발성 메모리 (NVM) 구조 및 실리커 상의 논리 게이트와 같은 중요한 장치 매개 변수를 측정하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 수백 개의 데이터 포인트 (data point) 를 수집하고 분석하여 디바이스가 올바르게 제조되었는지 확인합니다. 이 장치는 정확성, 속도 및 유연성을 위해 설계되었습니다. 최대 8 인치 직경의 정렬 된 웨이퍼를위한 자동 웨이퍼 처리 머신 (wafer handling machine) 이 특징입니다. 또한, 이 도구는 단일 웨이퍼에서 여러 다이 (die) 에 대한 실험을 수행하기 위해 몇 가지 독특한 기능을 제공합니다. 이 자산은 고해상도 광학 모델 (optical model) 로 인해 최대 400um 두께의 장치를 정밀도와 정확도로 테스트할 수 있습니다. 밝은 필드 및 다크 필드 이미징 장비를 사용하여 수백 나노 초의 노출 시간으로 이미지를 캡처하여 신호 대 잡음비 (signal-to-noise ratio) 를 제공합니다. 이 시스템에는 3 축 스테이지 이동이 장착되어 있어 웨이퍼에 걸쳐 많은 수의 테스트 데이터 포인트 (test data point) 를 신속하게 측정할 수 있습니다. ADE 6033 장치는 높은 처리량 밀리미터 및 하위 미크론 레벨 측정을 가능하게 하는 일련의 도구를 제공합니다. 풍부한 해상도 설정 (빠르고 유연하게 설치 및 사용 가능) 이 포함되어 있습니다. 측정 기능에는 빠른 지형 측정, 빠른 IP 도량형, 펄스 전기 매개 변수 측정, 정전 전압 (C-V) 곡선 측정 및 게이트 산화물 분해 측정이 포함됩니다. 또한, 시스템의 통합 소프트웨어 플랫폼은 데이터 분석의 시간과 복잡성을 줄여줍니다. 공구의 공구 세트를 활용하여 프로세스 결함 및 웨이퍼 어셈블리, 장치 성능, 임계값 전압, 다이 위치 (die positional) 정밀도 중심, 데이터 정확도를 신속하게 파악합니다. KLA 6033 Wafer Testing and Metrology 자산은 웨이퍼 테스트를 위해 향상된 속도, 정확성 및 유연성을 제공하는 고급 모델입니다. 프로세스/디바이스 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있는 포괄적인 테스트 툴을 제공합니다 (영문).