판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 5810 #9170075

ADE/KLA/TENCOR 5810 Wafer Testing and Metrology 장비는 반도체 제조 업계에서 다양한 어플리케이션 요구를 충족하도록 설계된 다용도 및 효율적인 도구입니다. 폭넓은 웨이퍼 테스트 기능을 갖춘 높은 처리 속도 (Throughput rate) 를 통해 빠르고 정확한 웨이퍼 테스트 프로세스를 구현할 수 있습니다. 이 시스템은 혁신적이고 고급 된 풀 카세트 고급 산란 측량법 (Advanced Scatterometry Metrology) 기술을 갖추고 있으며, 이는 웨이퍼 표면에서 산란 된 빛의 각도 분포를 측정하도록 설계되었습니다. 이 기능은 다양한 필름 두께를 분석하고, 단일 웨이퍼 (wafer) 에 포토 마스크 (photomask) 와 웨이브 가이드 (waveguide) 패턴을 동시에 정확하게 측정하는 기능을 제공합니다. 또한, 여러 측정이 동시에 이루어질 수 있으므로, 이 기능은 복잡성과 비용을 줄여줍니다. 이 장치는 내장, 고해상도 TEM 이미징 현미경이 포함 된 고도로 자동화 된 플랫폼을 기반으로합니다. 이를 통해 EBSD (전자 백스캐터 회절) 에서 커패시턴스 측정 및 에치 처리에 이르기까지 다양한 이미지 분석 작업을 수행 할 수 있습니다. 예를 들어, TEM 이미징 현미경을 사용하여 드롭 렛 크기, 라인 밀도 및 패턴 방향을 측정 할 수 있습니다. 이는 반도체 칩의 결함 검사에 매우 유용합니다. 또한, 기계는 결함 격리 및 3D 표면 특성화와 같은 고급 웨이퍼 테스트 절차를 수행 할 수 있습니다. 이 유형의 기능은 웨이퍼 (wafer) 의 전반적인 성능을 파악하고 프로세스 관련 결함을 분리하는 데 필수적입니다. 마지막으로, ADE 5810 Wafer Testing and Metrology Tool은 사용자 친화적이며 처리율을 높일 수 있도록 설계되었으며, 높은 수준의 정확성과 정확도를 제공합니다. 이 자산은 다양한 용도로 신속하고 정확하게 "와퍼 (wafer) '를 테스트하는 데 관심이 있는 사람들에게 이상적인 선택입니다.