판매용 중고 ADE 9300 #293804212

ADE 9300
ID: 293804212
Wafer inspection system.
ADE 9300 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 장비 (metrology equipment) 는 제조 환경에서 고급 집적 회로 (IC) 의 중요한 특성을 측정하기위한 업계 최고의 플랫폼입니다. 이 시스템은 강력한 전기 및 광학 도량형 (Electrical and Optical Metrology) 도구를 사용하여 현재 다른 장비보다 정확하고 빠른 IC 성능을 측정합니다. 전기 및 광학 기능의 긴밀한 통합은 9300 유닛을 현대 반도체 제조업체에 이상적인 선택으로 만듭니다. ADE 9300 기계는 최대 3mm 크기의 장치에서 DC 및 혼합 모드 측정을 포함하여 높은 처리량과 정확한 전기 테스트를 제공합니다. 이 도구는 PMU (정밀 측정 단위) 와 디지털 신호 조건 및 고성능 광학 레이어 측정을 결합합니다. 또한, 9300 자산은 동일한 구성으로 여러 디바이스 유형을 측정할 수 있는 유연성을 제공합니다. ADE 9300 은 레이저 간섭계 (laser interferometry) 를 사용하여 웨이퍼 서피스를 스캔하고, 모델을 통해 장치의 레이아웃과 전기적 특성을 매핑할 수 있습니다. 관련 피쳐와 전극을 인식함으로써, 9300은 동시에 접촉 저항, 시트 저항, 크로스 토크 및 기타 매개변수를 측정 할 수 있습니다. OFREC (High-Resolution Optical Features Recognition) 기술을 사용하여 ADE 9300은 최대 15nm 이하의 장치에서 접촉/접합 저항을 측정할 수 있으며, 측정 주파수는 최대 80MHz입니다. 또한, 9300 장비는 인상적인 속도와 정확도로 측정 할 수 있습니다. 빠른 웨이퍼 스캐닝 (wafer scanning) 과 고급 측정 (advanced measurement) 알고리즘은 테스트 시간을 줄이면서도 가장 섬세한 매개변수의 정확한 측정을 허용합니다. 또한, ADE 9300 은 다른 장비와 통합되어 시스템에서 wafer pick-up 에서 dispensing 에 이르기까지 전체 테스트 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 9300은 최신 반도체 제조업체를 위한 포괄적이고 확장 가능한 솔루션을 제공합니다. 종합적인 테스트/도량형 (Test and Metrology) 기능을 통해 사용자는 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있으며, 고수율 생산에 이상적입니다. 강력한 하드웨어와 소프트웨어를 통해 ADE 9300 은 각 고객의 특정 테스트/도량형 (metrology) 요구 사항을 충족하도록 쉽고 신속하게 구성할 수 있습니다.
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