판매용 중고 ACCRETECH / TSK Surfcom 578A #9399109

ACCRETECH / TSK Surfcom 578A
ID: 9399109
Wafer surface measurement system.
ACCRETECH/TSK Surfcom 578A는 반도체 처리에 사용되는 강력하고 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템의 고급 기능 (advanced features) 과 강력한 처리 능력 (powerful processing power) 은 다양한 크기와 유형의 웨이퍼를 탁월한 정밀도와 속도로 테스트할 수 있게 해 줍니다. 이 장치에는 프로파일, 속도, 결함 탐지와 같은 이미징 및 분석 소프트웨어 도구가 제공됩니다. 이러한 툴은 양적 정보 (quantitative information) 를 제공하여 사용자가 프로덕션 프로세스의 어느 단계에서 웨이퍼를 정확하게 분석하고 최적화할 수 있도록 합니다. TSK Surfcom 578A는 고정밀 스캔 단계, 광시야각, 다양한 통합 기계식 및 광학 센서를 갖추고 있습니다. 이를 통해 비파괴 프로브 (non-destructive probing), 다중 뷰 이미징 (multiple view imaging), 다중 계층 (multi-layerism) 등 다양한 측정 및 분석이 웨이퍼에서 수행됩니다. 이 기계는 다양한 예산을 수용할 수 있는 비용 효율성 (cost-effectivity) 을 갖춘 최고의 품질 결과를 보장하도록 설계되었습니다. ACCRETECH Surfcom 578A 는 Wafer 테스트 환경을 시뮬레이션하기 위해 전문 테스트 알고리즘을 만들고 특정 프로세스를 재현하는 고급 소프트웨어 툴을 제공합니다. 또한 추가 구현 및 비교를 위해 레시피를 저장하여 일관성을 확인할 수 있습니다 (영문). 내장된 이미지 분석 알고리즘과 결함 검토 (Defect Review) 도구를 사용하여 인프라, 표면 불규칙성, 미세한 기능 결함을 조사하고 조사 할 수 있습니다. 이 도구의 다중 레이어 스캔, 이미징, 미세 조정 (fine adjustment) 기능을 사용하면 웨이퍼의 정확하고 상세한 이미지를 얻을 수 있습니다. 에셋은 또한 물리적 접촉이 필요 없이 정적 (static) 및 동적 산화물 두께, 필름 두께, 표면 편평도, 광학 검사 등 다양한 복잡한 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 최고 품질의 결과를 보장하기 위해 설계되었으며, 대용량, 초고정밀도 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형에 적합합니다.
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