판매용 중고 ACCRETECH / TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64 #9226927

ACCRETECH / TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64
ID: 9226927
웨이퍼 크기: 8"
Wafer surface measurement system, 8".
ACCRETECH/TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64는 반도체 웨이퍼 및 기타 평면 표면의 표면 특성을 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 5 축 CNC (컴퓨터 수치 제어) 스테이지가 장착되어 있으며 X, Y 및 Z 축을 따라 웨이퍼 표면을 정확하고 정확하게 스캔 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 PTR (Platform Translation Rotator) 과 통합되어 웨이퍼 프로파일 및 프로파일 데이터 획득을 자동으로 매핑할 수 있습니다. ACCRETECH Surfcom 590A-64는 스캐닝 속도 (최대 200mm/s) 와 2축 자동 초점 (auto focusing) 기능을 통해 매우 높은 정밀도로 표면을 스캔하고 측정 할 수 있습니다. TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64에는 고정밀 간섭계, 레이저, LED 및 간섭계 광학이 장착 된 고속 측정 기계가 장착되어 있습니다. 이 도구는 0.5nm의 해상도로 표면 측정을 할 수 있습니다. 이 자산에는 측정 된 데이터를 쉽게 분석 할 수있는 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 측정 데이터를 비롯한 모든 모델 데이터를 데이터베이스에 저장하여 향후 분석, 모니터링, 추세 분석 등을 수행할 수 있습니다. 또한 Surfcom 590A-64에는 LCD (액정 디스플레이) 와 같이 사용 편의성을 향상시키는 다양한 기능과 기능 (예: 모든 장비 설정 및 기능 모니터링, 자동 교정 루틴, 사용자 선택 가능 측정 조건) 이 제공됩니다. 이 시스템에는 오버필 보호 (overfill protection), 단위 온도 모니터링 (unit temperature monitoring), 비상 정지 장치 (emergency stop unit) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 ACCRETECH/TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64는 반도체 웨이퍼 및 기타 평면 표면의 표면 특성을 측정하고 분석하는 데 적합한 고급, 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 높은 정확도, 정밀도, 폭넓은 기능과 기능을 갖춘 이 툴은 다양한 업종에 적합한 '신뢰할 수 있는' 툴입니다.
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