판매용 중고 ACCENT OPTICAL / PHILIPS ECV Pro #9301423

ACCENT OPTICAL/PHILIPS ECV Pro는 반도체 생산의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 일련의 광학 구성 요소와 검사를 통해 실리콘, 단결성 실리콘, 화합물 등 다양한 기판에 걸쳐 웨이퍼의 물리적, 전기적 매개변수 (예: 게이트 길이, CD 측정) 를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 정밀도가 높은 양적 웨이퍼 분석 장치 (quantitative wafer analysis unit) 와 광학 현미경 (optical microscope) 을 갖춘 완전한 자동 도량형 솔루션입니다. 고정밀도 기계는 0.05 나노미터 (0.05 나노미터) 의 오차율로 다양한 웨이퍼 크기와 기판에서 물리적, 전기적 특성을 정확하게 측정 할 수 있도록 합니다. 이를 통해 도구는 도망자 입자 (fugitive particle) 와 필름 (film) 결함을 식별할 수 있으며, 프로세스 제어를 최적화하고 제품 개선 가능성을 식별하는 데 사용할 수있는 상세한 CD 및 게이트 길이 측정 기능을 제공합니다. 자산의 광 구성 요소 외에도, PHILIPS ECV Pro는 광범위한 데이터 분석 기능을 제공합니다. 이 모델은 종합적인 인수/분석 알고리즘을 활용함으로써, 다양한 생산 매개변수를 고려하여 가장 효율적인 제품 처리/측정 (product processing and measurement) 방법을 결정할 수 있다. 이 제품은 Windows 98 CMMS 및 HP 9000 시리즈 CPU와 호환되는 전체 소프트웨어 툴과 함께 제공되며, 이 장비는 데이터 분석, 시뮬레이션 및 곡선 피팅, 편차 분석 기능을 제공합니다. ACCENT OPTICAL ECV Pro의 다른 기능으로는 결함 감지 및 검사, 멀티 다이 테스트, 박막 도량형 및 스루 웨이퍼 반사 기능이 있습니다. 또한 추적 능력 (Traceability) 및 감사 로깅 (Audit Logging) 기능이 추가되었으며, 원격 데이터 분석 및 공유를 위해 타사 시스템과 상호 작용할 수 있습니다. 운영/엔지니어링 시스템과 접속하면 Wafer/Process Parameter 를 실시간으로 업데이트하여 운영 운영을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로, ECV Pro 는 우수한 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로서, 효율이 높은 자동 시스템에서 물리적/전기적 매개변수를 정확하고 안정적으로 측정할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 반도체 생산 응용프로그램의 요구 사항을 효과적으로 충족할 수 있게 해 줍니다 (영문).