판매용 중고 ULTRATECH XLS #9191710

제조사
ULTRATECH
모델
XLS
ID: 9191710
Stepper Parts machine.
ULTRATECH XLS는 웨이퍼, 특히 정확한 장치 및 태양 전지 어셈블리를 생산하는 데 적합한 스테퍼입니다. 위치 정확도가 0.3 m (베이스 스캐닝 센서 정확도) 인 제어 축이 있습니다. 이 제품은 빠른 처리 속도와 비용 효율성으로 인해 고정밀도 웨이퍼 (wafer) 를 생산할 수 있는 비용 효율적인 선택입니다. XLS에는 전용 웨이퍼 정렬 메커니즘 (wafer alignment mechanism) 이 있으며, 마지막으로 로드된 웨이퍼 위치를 기억하고 리콜할 수 있으며, 설치 시간을 절약하고, 동일한 웨이퍼 세트를 사용할 때 다시 정렬할 필요가 없습니다. 0.02 미크론 해상도의 CCD 에지 감지 장비는 각 웨이퍼가 올바르게 배치되도록 합니다. Granite 플랫폼 디자인은 안정성과 진동 감쇠 기능을 제공하며 열 드리프트를 최소화합니다. 제품 운송을 위해 스테퍼에는 최대 6 개의 트레이를 동시에 운송 할 수있는 클러스터 모듈 (cluster module) 이 있습니다. "와퍼 '들 은 안전성 과 정밀성 을 높이기 위해 기계 의 여러 부분 을 통과 할 때, 진공" 시스템' 을 이용 하여 안전 하게 보관 된다. ULTRATECH XLS (ULTRATECH XLS) 는 웨이퍼 처리를 위한 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 선택이며, 다양한 크기와 모양으로 구성된 다양한 웨이퍼에 적합합니다. Aerial Image Sampling을 포함한 여러 노출 기술을 제공합니다. Wafer 크기에 따라 Scanning 필드의 크기를 선택할 수 있습니다. 또한, XLS에는 와퍼의 잔류 (residue-free) 에지를 보장하는 자동 백사이드 클리닝 장치가 장착되어 있습니다. ULTRATECH XLS는 까다로운 생산 환경을 위해 설계되었으며 고정밀 제조 공정을 제공합니다. 사용이 간편한 프로세스 컨트롤러로 플랫폼 변경을 신속하게 수행하여 효율성을 높일 수 있습니다. 스테퍼는 또한 통합 스캐너 감지 머신과 다양한 웨이퍼 카세트를 제공합니다. XLS에는 노출 용량 (Exposure Dose), 마스크 두께 (Mask Thickness) 및 노출 시간 (Exposure Time) 과 같은 여러 프로세스 매개변수 세트가 있으며, 필요에 따라 장치를 사용자정의하는 데 사용할 수 있습니다. 모듈식 디자인과 뛰어난 옵틱은 정확하고 빠른 결과를 보장합니다. 또한 수분 보호 도구 (moisture-protection tool) 와 지능형 전력 모니터링 (intelligent power monitoring) 을 갖추고 있어 안전한 선택입니다. 요약하자면, ULTRATECH XLS는 다양한 웨이퍼 처리 및 제조 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 이 제품은 빠르고, 정확하며, 비용 효율적인 결과를 제공하며, 자동화된 기능은 생산 과정에서 고품질 (High-Quality) 과 안전 (Safety) 을 보장합니다.
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