판매용 중고 ULTRATECH XLS 7500 #9241365

ULTRATECH XLS 7500은 다양한 기판에서 이미징 기능을 위해 설계된 다목적 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 LED, 수은 램프, 거울, 프리즘, 조리개와 같은 다양한 광학 구성 요소를 사용하여 매우 상세한 이미징을 제공합니다. 고해상도 기능으로 1.2 마이크로미터의 최소 피쳐 크기로 마이크로 리토 그래픽 패턴을 단계적으로 유지할 수 있습니다. 스테퍼 (stepper) 에는 고속 이미징 패키지 (옵션) 가 있어 처리량이 빨라질 경우 10ms의 노출 시간만 허용합니다. 또한 마스크 (mask) 와 기판 (기판) 사이의 대비를 최대화하기 위해 254 ~ 365 nm 범위에서 가장 적절한 파장을 선택할 수있는 고급 스펙트럼 이미징 패키지가 있습니다. 또한, 스테퍼에는 고급 정렬 패키지 (advanced alignment package) 가 있으며, 이를 통해 하위 미크론 정확도를 갖는 센서로 세밀한 조정 및 웨이퍼 측정이 가능합니다. 스테퍼에는 장기적인 신뢰성을 보장하는 다양한 기능이 있습니다. 청정 실 환경을 위해 탄소 필터 및 고효율 미립자 공기 (HEPA) 필터를 사용하여 미립자 오염 물질을 필터링하는 공기 정화 시스템이 있습니다. 공정 온도의 안정성과 정확성을 보장하는 정확한 프레임 쿨러 (frame cooler) 가 있습니다. 또한, 스테퍼에는 처리 중 웨이퍼 안정성과 정렬을 보장하는 3 점 웨이퍼 홀더가 있습니다. XLS 7500도 액세스 가능성이 높고 사용자 친화적입니다. 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 운영 및 구성을 쉽게 수행할 수 있으며, 고급 데이터 모델링 및 소프트웨어 제품군을 통해 시스템 수준 모니터링이 가능합니다. 또한 VME, Gigabit Ethernet, SCSI 기반 시스템과 같은 업계 최신 데이터 형식 및 인터페이스와 호환됩니다. 이 기계는 또한 광범위한 응용 프로그램에 쉽게 적응할 수 있습니다. 굴절식 (refractive) 및 카타디오프트릭 (catadioptric) 과 같은 다양한 렌즈와 다른 작업 거리를 수용하기 위해 전동식 스테이지로 제공됩니다. 또한 다양한 추가 하드웨어 및 액세서리 (예: 기판 척, 난방 기판 테이블, wafer edge 설치 시스템) 를 사용하여 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로, ULTRATECH XLS 7500은 작동과 구성을 용이하게 하기 위해 만들어진 고급 이미징 기능과 기능을 갖춘 매우 다용도 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 정확도, 고해상도 이미징, 안정성, 효율성을 제공하는 다양한 기능을 제공합니다. 다양한 맞춤형 구성 옵션으로, 거의 모든 애플리케이션에 적합합니다.