판매용 중고 ULTRATECH XLS 7500 #9166601

ULTRATECH XLS 7500은 파나소닉 (Panasonic) 의 차세대 웨이퍼 스테퍼로, 전체 다이의 높은 정밀 이미징을 위해 설계되었습니다. 고급 광학 이미징 플랫폼 (Optical Imaging Platform) 은 웨이퍼에 다이 배치 과정을 자동화합니다. XLS 7500을 통해 제조업체는 이전 세대의 스텝퍼 (Stepper) 보다 최대 7 배 빠른 속도로 웨이퍼 배치를 만들 수 있습니다. ULTRATECH XLS 7500의 광학 배송 장비는 해상도, 초점 이동, 초점 깊이에서 탁월한 성능을 제공합니다. 또한 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 이미징 할 때 최적의 유연성을 제공 할 수있는 초점 깊이 (depth of focus range) 가 확장되었습니다. XLS 7500은 스마트 이미징 시스템 (Smart Imaging System) 으로 설계되어 필요에 따라 자동으로 노출 매개변수를 조정합니다. 이는 노출 시간을 최소화하면서 고해상도 이미징을 보장합니다. ULTRATECH XLS 7500은 자체 조정 모터 드라이브 장치로 설계되었습니다. 따라서 전체 해상도 스펙트럼에서 정확하고 신속한 웨이퍼 (wafer) 위치를 지정할 수 있습니다. 모터 드라이브 (motor drive) 는 수동 조정이 필요 없으며 웨이퍼 전체의 이미지 품질이 일관성을 보장합니다. XLS 7500은 또한 광범위한 뷰 체인 및 캡처 영역을 제공합니다. 따라서 단일 노출로 더 많은 뒤틀기를 로드하여 처리량을 높일 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 결함 웨이퍼를 자동으로 식별하고 제거하는 통합 결함 제어 머신이 있습니다. 이렇게 하면 정결 한 "웨이퍼 '만 처리 의 다음 단계 로 보내지게 된다. ULTRATECH XLS 7500은 종합적인 보기 정렬 제품군도 제공합니다. 사용 가능한 필드의 수를 자동으로 극대화하고, 이미지 캡처 전에 각 필드의 정렬을 검사합니다. 이렇게 하면 패턴이 최소한의 잘못된 정렬로 전체 웨이퍼에 정확하게 배치됩니다. XLS 7500은 또한 인라인 도량형 시스템과의 통합을 허용합니다. 이를 통해 제조업체는 각 스테퍼 노출 후 각 다이 배치 (die placement) 및 이미징 단계 결과를 정량적으로 측정 할 수 있습니다. 이것은 생산 과정에서 높은 정밀도를 제공합니다. 전반적으로 ULTRATECH XLS 7500은 강력하고 효율적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 이전 세대의 스테퍼 속도의 최대 7 배에 달하는 웨이퍼 배치를 생산하도록 설계되었습니다. 강력한 옵티컬 이미징 툴과 통합된 결함 제어/정렬 시스템, 통합형 모터 드라이브 (motor drive) 자산을 결합한 것입니다. 또한 종합적인 뷰 체인 (View Chain) 및 캡처 영역 (Capture Area) 을 제공하며 인라인 도량형 시스템과의 통합을 통해 매우 정확한 생산 프로세스를 제공합니다.