판매용 중고 ULTRATECH XLS 200 #9382961

ULTRATECH XLS 200 Wafer Stepper는 서브 미크론 반도체 웨이퍼 제작을 위해 특별히 설계된 고급 석판화 장비입니다. 이 시스템은 첨단 이미징/노출 기술 (Advanced Imaging and Exposure Technologies) 을 자랑하며, 사용자에게 최고 수준의 정확성과 비용 제어를 제공합니다. ULTRATECH XLS200은 최대 1 나노 미터의 정확성을 제공하는 듀얼 스테퍼 모터 드라이브 (dual stepper motor drive) 장치를 갖춘 개폐식 통합 광학 플랫폼을 사용합니다. 이 플랫폼에는 전체 필드 스캔 단계, 통합 패턴 생성기, 자동 노출 머신 등이 있습니다. 통합 패턴 생성기의 반복 정확도는 10nm이며, 0.5 m의 매우 정확한 해상도를 달성 할 수 있습니다. XLS 200에는 고급 노출 도구가 장착되어 있으며, 통합 스캐닝 스테이지는 6 초/스캔 속도로 최대 200mm 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 노출 자산에는 최적화된 런타임 전력 보상, 단일 (monolithic) 정렬, 용량 구성 등 여러 알고리즘이 포함되어 있어 처리량을 극대화하고 전력 소비를 최소화할 수 있습니다. XLS200은 완전하게 자동화된 웨이퍼 트랙 관리 모델을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 입력 (input) 을 빠르게 로드하고 수동 조정 (manual adjustment) 을 줄여 처리량과 정확도를 높일 수 있습니다. 또한 Wafer Track 관리 장비는 포괄적인 시스템 기록 (System History) 을 제공하여 사용자가 오류를 추적하고, 오류를 추적하며, 작업을 빠르고 효율적으로 완료할 수 있도록 최적화할 수 있습니다. ULTRATECH XLS 200은 울트라 테크 (ULTRATECH) 의 가장 강력하고 고급 석판화 장치이며, 반도체 업계에서 요구하는 최고 수준의 정확성과 비용 제어를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 통합 옵티컬 플랫폼, 고해상도 기능, 자동 노출/웨이퍼 트랙 관리 시스템 등을 갖춘 ULTRATECH XLS200 은 중요한 구성/개발 주기를 위한 최적의 머신입니다.