판매용 중고 ULTRATECH Unity AP300 #9247822

ULTRATECH UnityTM AP300은 마이크로 전자 장치의 정밀 리소그래피 노출을위한 다재다능하고 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 전체 다이 크기 (die size) 에 대한 서브 미크론 등록 기능이있는 서브 미크론 장치의 처리량이 높도록 설계되었습니다. Work Management, Aperture Design, Multi-Layer Patterning 및 Overlay Alignment를 포함한 차세대 처리 기술이 특징입니다. 75 um 숫자 조리개가있는 UV 조명 소스를 사용합니다. 단계 및 반복 및 전체 필드 패턴 투영 노출을 모두 지원합니다. 특허 획득, 기울기 쉬운 레티클 홀더가 있으며, 이는 노출 프로그래밍, 패턴 노출 및 정렬을 단순화합니다. 또한, 플랫폼에 구축 된 오염 및 거부를 최소화하는 혁신적인, 사용자 친화적 인 진공 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 기판 이동을 위한 정밀 서보 제어 단계 (precision servo-controlled stage) 와 정확한 위치 피드백을 위한 고해상도 인코더 (high-resolution encoder) 를 갖습니다. 높은 오버레이 정렬 정확도를 위해 독립적 인 이중 비접속 프로브 장치를 갖추고 있습니다. 홀더 설계를 통해 고밀도 다이의 빠르고 쉬운 웨이퍼 로딩, 조작, 정렬 및 노출이 가능합니다. 또한 레티클에 쉽게 액세스 할 수 있으며 자체 모니터링 전송 기계가 있습니다. 또한 효율적인 운영/프로세스 무결성을 보장하는 네트워크 모니터링 툴이 있습니다. 컨트롤러에는 PC 호환 PC와 전용 ULTRATECHTM Progmatic 2.0 컨트롤러가 모두 포함되어 있습니다. PC 호환 PC는 전체 PC 응용 프로그램이 포함된 고급 멀티 프로세서 자산입니다. 이 모델에는 다이 디자인, 레티클 설정 및 신경 네트워크 기반 프로세스 최적화를 지원하는 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있습니다. Progmatic 2.0 컨트롤러는 스테퍼 자동화 및 기계 기능을 관리하는 진정한 개방형 아키텍처, 멀티태스킹 로봇 컨트롤러입니다. 이 제품은 대용량 석판화 (lithographic) 생산에 필요한 하이엔드 성능 및 안정성을 충족하는 다양한 정교한 기능을 제공합니다. ULTRATECH UnityTM AP300은 최고 품질의 리소그래피 요구 사항을 충족하도록 설계되어 있으며, 노출 정확도는 0.3um (3.0i) 입니다. 또한 20nm 이상의 고속 노출을 제공하므로, 고급 및 초소형 장치의 처리량을 높일 수 있습니다. 저전력 고성능 집적 회로에 대한 가장 힘든 석판화 요구 사항을 충족합니다. 전반적으로, 이 제품은 고정밀도, 매우 신뢰할 수 있는 리소그래피 노출 및 고급 마이크로 일렉트로닉스 생산을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.