판매용 중고 ULTRATECH Unity AP300 #9128099

ULTRATECH Unity AP300 웨이퍼 스테퍼는 반도체 웨이퍼 생산에 사용되는 최첨단 정밀 리소그래피 장비입니다. 스테퍼에는 고급 옵틱 및 다용도 기능이 있으며, 최대 3 개의 웨이퍼를 동시에 이미징 할 수 있습니다. 이 시스템은 노출되거나 노출되지 않은 웨이퍼 서피스의 고품질 이미징을 제공하도록 설계되었습니다. AP300에는 Opti-Scan Robotics 유닛이 장착되어 있으며, 이 장치는 기계 내에서 와퍼의 정확하고 반복 가능한 정렬 및 이동을 제공합니다. 이 기계는 또한 두 카메라 사이를 전환하여 위쪽 (top) 과 아래쪽 (bottom) 표면 이미징을 모두 수행 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 고정밀, 다중 축 스테이지 (multi-axis stage) 로 구동되며, 최적의 모션 컨트롤뿐만 아니라, 환경으로부터 공기 서스펜션 및 웨이퍼를 분리합니다. 이 도구는 또한 정확하고 반복 가능한 속도 제어를 갖춘 고급 모터 (High-end motor) 를 갖추고 있으며, 리소그래피 동안 웨이퍼의 정확한 동작과 위치를 보장합니다. AP300 웨이퍼 스테퍼는 독점적 인 용량 제어 및 노출 자산 (Dose Control and Exposure Asset) 을 사용하며, 이는 용량 전달 및 패턴 쓰기 속도에서 탁월한 안정성과 정확성을 제공합니다. 이 모델은 또한 보정된 균일 마스크 (uniformity mask) 를 사용하여 고급 광학 보정을 제공하여 이미지 품질을 향상시키고 보다 정확한 리소그래피를 제공합니다. 또한 AP300은 고급 MLP (Multi-Layer Process) 장비를 사용하여 단계별 진행 상황을 모니터링하고 프로세스를 반복합니다. 이렇게 하면, 잘못 된 정렬 을 최소화 하고, "웨이퍼 '에 걸쳐서 각" 다이' 에 정확 한 양 의 용량 을 적용 하는 데 도움 이 된다. 마지막으로, AP300은 견고한 안전 (Safety) 기능이 내장되어 항상 안전하게 작동하도록 설계되었습니다. 스테퍼에는 캐비닛 엔클로저가 장착되어 있으므로 외부 진동, 먼지, EMF 등에서 시스템이 차폐됩니다. 안전 기능에는 사용자가 피해를 입지 않도록 보호하는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼도 포함됩니다.