판매용 중고 ULTRATECH Unity AP300 #293816715

ULTRATECH Unity AP300은 반도체 생산 프로세스를 추진하기 위해 설계된 리소그래피 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 AP 시리즈 (AP Series) 석판화 장비 제품군에 추가되어 강력한 패턴화 기능과 향상된 처리량을 제공합니다. 이 견고한 웨이퍼 스테퍼는 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 패턴을 제공하여 생산량을 향상시키고 비용을 절감합니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 5 축 스테이지 및 고정 필드 투영 광학을 사용하여 웨이퍼의 빠르고 균일 한 노출을 보장합니다. 이 장비는 독점적 인 반전 왜곡 이미징 시스템을 갖추고 있으며, 웨이퍼 (wafer) 를 포커싱하고 스캔할 때 왜곡을 보완하여 정확한 노출 및 정렬을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼는 대상 코너에 대한 최적의 초점과 해상도를 제공하는 Xact 해상도 (Xact Resolution) 기술을 사용하여 모든 기판에서 패턴을 안정적으로 이미징 할 수 있습니다. 또한 ULTRATECH UNITY AP 300의 설계는 스테퍼 성능 최적화, 웨이퍼 로딩 및 언로드로 인한 다운타임 최소화, 전체 처리량 최적화 등을 통해 높은 생산성을 제공합니다. 고급 기능 세트를 사용하는 이 웨이퍼 스테퍼는 다양한 필드 크기에 걸쳐 LWS (Line-Width/Space) 비율에서 가장 단단한 웨이퍼를 전달할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 6 인치 사각형 기판 크기를 사용하여 광범위한 웨이퍼와 호환됩니다. 유니티 AP300 (Unity AP300) 에는 민감한 기판에서 열 관련 왜곡을 방지하는 균일 한 온도 조절을 제공하는 흑연 로가 장착되어 있습니다. 또한, 지능형 서브 필딩 기능이 제공되며, 넓은 필드를 더 작은 서브 필드로 세분화하여 더 나은 노출을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 설정 및 작업을 단순화하고 상태 보고서 창을 작성하여 사용자의 현재 작업 진행 상황을 항상 알려줍니다. 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있는 패턴을 제공하도록 설계된 UNITY AP 300은 광범위한 어플리케이션을 위한 최고의 유연성, 성능, 생산성을 제공합니다. 고급 이미징 기술, 직관적인 인터페이스, 고급 기능을 갖춘 AP300 은 효율적인 웨이퍼 (wafer) 생산 프로세스를 위한 최첨단 기술을 제공합니다.