판매용 중고 ULTRATECH Ultrastep 990 #9237976

ULTRATECH Ultrastep 990은 Sub-micron 리소그래피를 위해 설계된 고급 정밀 웨이퍼 스테퍼로, 뛰어난 임계 크기 (CD) 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 이 장비는 고급 하드웨어와 소프트웨어를 활용하여 뛰어난 정확도를 유지하면서 높은 처리량을 달성합니다. Ultrastep 990의 중심에는 고급 광학 이미징 하위 시스템이 있습니다. 광학 시스템은 모든 노출에 대해 고해상도 이미지 획득과 정확한 웨이퍼 등록을 모두 제공합니다. 고정밀 선형 및 각도 인코더로 0.5 "m '(기능 크기의 1/10) 의 정밀 정렬 정확도를 달성한다. 이 장치는 쉽고 효율적인 작동을 위해 설계된 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 로 구동됩니다. GUI 를 통해 시스템 매개변수 (예: 속도, 정확도, 작업 실행 등) 를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한 포괄적인 보고 기능을 제공하여, 사용자가 웨이퍼 처리량을 모니터링하고, 오류를 감지하고, 수정하고, 프로세스 제어를 최적화할 수 있습니다. ULTRATECH Ultrastep 990은 독점적 인 초고속 광원을 사용하여 오버헤드를 최소화하여 빠른 웨이퍼 처리를 달성합니다. 넓은 조리개 및 이중 레이저 센서는 밀도가 높은 패턴에서도 뛰어난 감지 기능을 제공합니다. 또한, 고급 스캔 프로세서 및 웨이퍼 스테이지는 노출 된 웨이퍼 표면에서 빠르고 정확한 패턴을 제공합니다. Ultrastep 990은 매우 까다로운 환경에서도 안정적이고 효율적인 작동을 위해 설계되었습니다. 견고한 진공 척 (vacuum chucking) 도구는 웨이퍼의 안정적인 적재 및 하역과 단단한 프레임 구성 및 밀봉 된 광학 캐비닛이 공기 오염 최소화를 보장합니다. 또한, 고급 진동 격리 자산은 환경 소음으로 인한 교란을 방지합니다. ULTRATECH Ultrastep 990은 최적의 리소그래피 처리량을 위한 탁월한 선택입니다. 탁월한 이미징 및 등록 기능과 결합된 강력한 하드웨어/소프트웨어 아키텍처로, 정밀 하위 미크론 리소그래피 (sub-micron lithography) 를 위한 완벽한 모델입니다. 초고성능과 신뢰성을 갖춘 울트라스텝 (Ultrastep) 990은 가장 까다로운 리소그래피 (lithography) 요구 사항을 충족할 수 있습니다.