판매용 중고 ULTRATECH UltraStep 1500 #9296388

ID: 9296388
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6", parts machine.
ULTRATECH UltraStep 1500 (UltraStep 1500) 은 다양한 반도체 제작 프로세스에 대해 정확하고 정확한 위치 정렬을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 독립적인 축 정렬 기능을 갖춘 고급 광학 시스템 (Advanced Optical System) 으로, 대상 웨이퍼 재료를 위한 고해상도, 정확한 위치를 제공합니다. 이 스테퍼는 안정성과 낮은 열 드리프트를 제공하도록 설계되었으며, 정밀 2 차원 웨이퍼 정렬 정확도는 최대 0.5 µm입니다. 또한 리소그래피, 웨이퍼 검사, 기판 처리에 이르기까지 다양한 응용 프로그램 요구와 호환됩니다. UltraStep 1500에는 자동 웨이퍼 식별 및 스테이지 주소 지정 시스템이 통합되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스의 각 단계 앞에 각 웨이퍼가 정확하게 배치됩니다. "스테퍼프 '는" 알루미늄' 합금 으로 만들어지고 "아노오디즈 '화 되어 경량 을 유지 하면서 최대 의 강도 와 내구성 을 제공 한다. 또한 부식과 마모를 방지하는 내구성 스테인리스 스틸 마감이 특징입니다. 또한 ULTRATECH UltraStep 1500에는 비상 정지 버튼, 안전 작업 영역 인클로저, 레이저 보호 장치, areola 패널 등의 안전 기능이 내장된 종합적인 안전 시스템이 내장되어 있습니다. 즉, 사용자가 작업 중에 스테퍼와 상호 작용할 수 없도록 합니다. UltraStep 1500은 높은 토크, 높은 정확도, 고속 성능을 제공하는 다용도 서보 모터로 구동됩니다. 이 전동기는 다양한 반도체 제조 생산 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 또한 금, 구리, 다이아몬드, 실리콘, 알루미늄 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 스테퍼에서도 고급 프로그래밍 기능을 사용할 수 있습니다. 따라서 코팅 (coating), 이미징 (imaging), 에칭 (etching), 증착 (deposition) 과 같은 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 다양한 웨이퍼 관리 시스템과 호환되므로 배치 처리 (batch processing), 오류 확인 (error checking) 및 자동 정리 기능이 가능합니다. 전반적으로, ULTRATECH UltraStep 1500은 반도체 제조업체의 제조 요구를 충족시키기 위해 고급 기능과 직관적인 컨트롤을 제공하는 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 제조 공정을 위해 안정성, 낮은 열 드리프트, 정확한 2 차원 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 이 "스테퍼 '는 여러 가지 기판 에 대한 정밀 작업 에 이상적 인데, 그것 은" 반도체' 용도 에 적합 한 선택 이다.
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