판매용 중고 ULTRATECH UltraStep 1500 #9241899

ID: 9241899
웨이퍼 크기: 5"-8"
Stepper, 5"-8".
ULTRATECH UltraStep 1500 웨이퍼 스테퍼는 반도체 집적 회로 (IC) 제조에 사용되는 고도의 리소그래피 기계입니다. 이 기계는 다양한 IC 장치에 강력하고 정확한 단계 및 반복 패턴 장비를 제공합니다. UltraStep 1500 은 최첨단 Optic 및 석판 (Lithography) 기술을 사용하여 패턴 작업의 최고 정확성과 제어를 보장합니다. ULTRATECH UltraStep 1500에는 초고속 이미지 제어 시스템과 성능 분석 패키지가 있습니다. 초미세 이미지 제어 장치 (Ultra-Fine Image Control Unit) 는 매우 낮은 명암에서 높은 명암까지 다양한 이미지 강도를 제공합니다. 다른 초점 설정 및 조리개 크기; 정확한 패턴 작동을 위해 최대 50,000 배 확대. 성능 분석 패키지 (Performance Analysis Package) 는 리소그래피 시스템의 성능을 실시간으로 모니터링하며 포괄적인 데이터 분석 도구를 포함합니다. UltraStep 1500의 최대 웨이퍼 크기는 8인치입니다. 최대 스티치 속도는 시간당 2,500 웨이퍼이며, 최대 5 미크론 해상도까지 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 통합 석판화 도구에는 "강화 된 경유 (enhanced via)" 기능이 포함되어 있는데, 이 기능을 사용하면 하위 미크론 정확도로 구멍과 비아를 만들 수 있습니다. 또한 멀티 소스 백사이드 알루미늄 스퍼터링, 특수 1 단계 도량형 기능 및 광학 제어 장치 등록이 특징입니다. ULTRATECH UltraStep 1500은 24/7 작동을 위해 설계된 사용자 친화적인 고해상도 웨이퍼 스테퍼입니다. 유지 보수 요구 사항이 낮으며, 웨이퍼 (Wafer) 및 레티클 (Reticle) 변경 시 다운타임을 최소화해야 합니다. UltraStep 1500 의 정교한 제어 및 모니터링 시스템은 다양한 관련 데이터 및 그래픽 정보를 표시합니다. 포괄적인 안전 기능 제품군에는 웨이퍼 카세트를위한 3 점 잠금 자산 및 충돌 탐지를 통한 웨이퍼 자동 포지셔닝 (Wafer Auto Positioning) 이 포함됩니다. 전반적으로 ULTRATECH UltraStep 1500 웨이퍼 스테퍼는 반도체 IC에 강력하고 정확한 단계 및 반복 패턴 모델을 제공하는 고급 리소그래피 머신입니다. 울트라스텝 1500 (UltraStep 1500) 은 정교한 옵틱, 이미지 제어 장비, 성능 모니터링 패키지를 통해 패턴화 작업의 최고 정확성과 제어를 보장하며 다양한 리소그래피 (lithography) 프로세스를 지원합니다. 안정적이고 사용이 간편한 시스템으로서, 24/7 작업을 위해 설계되었으며, 레티클 (reticle) 변경 시 최소한의 유지 보수 및 다운타임이 필요합니다.
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