판매용 중고 ULTRATECH UltraStep 1500 #293820275

ID: 293820275
빈티지: 1993
Stepper 1993 vintage.
ULTRATECH UltraStep 1500은 다양한 반도체 기판을 처리하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 매핑 스테퍼는 기존 스테퍼와 비교할 때 노출 시간이 10 배 감소하여 초점 정확도가 향상되었습니다. UltraStep 1500은 다양한 두께와 크기의 웨이퍼 기판을 처리 할 수 있습니다. ULTRATECH UltraStep 1500은 고해상도, 기하학적 정확도, 처리량을 갖춘 소형 반도체 어플리케이션에 적합합니다. 그것은 1X ~ 45X의 큰 확대 범위와 정적 레이저-라이트 빔 (static laser-light beam) 을 사용하여 웨이퍼 표면을 미세하게 매핑하여 고해상도 지형 패턴을 만듭니다. 전체 웨이퍼에 비해 1.5 미크론 (0.001mm) 의 스테퍼의 정렬 정확도는 small-die 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. UltraStep 1500에는 손쉬운 접근성 및 조절성을 위한 인체 공학적 디자인이 장착되어 있습니다. 이 머신은 듀얼 슬롯 (dual-slot) 구성으로 웨이퍼 (wafer) 생산에 유연성이 향상되고, 단일 머신 사이클에서 두 개의 서로 다른 기판 사이를 전환할 수 있습니다. 이는 운영 환경에서 특히 유용한 기능으로, 빠른 처리 (turnaround) 와 효율성 (efficiency) 이 핵심입니다. ULTRATECH UltraStep 1500에는 자동 웨이퍼 매핑을 위한 글로벌 리플렉터 (Global Reflector) 와 자동 초점 정렬 장비가 함께 제공됩니다. 또한 오류를 정확하고 일관되게 정렬하고 최소화할 수 있는 다중 위치 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 정확한 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 기능과 자동화된 결함 검사 및 측정 기능을 제공합니다. UltraStep 1500은 처리 중에 깨지기 쉬운 웨이퍼를 보호하기 위해 특별히 설계된 내구성이 뛰어난 멀티슬롯 (multi-slot) 장치로 제작되었습니다. 이 스테퍼는 가장 까다로운 운영 환경에서도 뛰어난 안정성과 성능을 제공합니다. 이것은 냉각기 (cooling machine) 로 인해 보장됩니다. 이는 균일 한 웨이퍼 온도 조절을 보장하고 웨이퍼 매핑 중 오염을 방지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 ULTRATECH UltraStep 1500은 다양한 Small-Die 반도체 및 가전제품 어플리케이션에 적합한 고정밀도, 속도, 신뢰성 있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 최고 수준의 초점 정확도를 제공하여 처리량 (throughput) 이나 반복성 (repeatability) 을 그대로 유지하면서 최대 수율을 보장합니다.
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