판매용 중고 ULTRATECH UltraStep 1500 #293820270

ULTRATECH UltraStep 1500 (UltraStep 1500) 은 생산성 및 속도를 높이고 총 비용과 시간을 단축하도록 설계된 강력하고 완전하게 자동화된 웨이퍼 스테퍼입니다. 독보적인 디자인과 최첨단 기술을 통해 유연성과 제어가 더욱 향상되었습니다. UltraStep 1500은 최대 8 인치 웨이퍼 용량으로 최대 5 개의 카세트를 처리 할 수 있습니다. 직관적인 터치스크린을 통해 스테퍼를 쉽게 구성, 프로그래밍, 모니터링할 수 있습니다. 이 장비에는 연동 안전 기능 (Interlocked Safety Feature) 이 포함되어 있어 사용자가 작동 중일 때 고전압 (High-Voltage) 영역에서 멀리 떨어져 있습니다. ULTRATECH UltraStep 1500에는 주파수가 300Hz, XY 해상도가 0.25äm, 노출 시간이 최대 5.5m인 고성능 XY 스캔 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 웨이퍼 당 최대 8 개의 이미지를 캡처 할 수있는 통합 디지털 이미징 장치도 포함되어 있습니다. 또한 개별 웨이퍼, 대형 하위 리소그래피 및 레티클 정렬을 포함한 다양한 웨이퍼 캐리어를 지원합니다. 이 기계는 세계적 수준의 노출 균일 성 ± 5% 로 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다. 웨이퍼 처리량은 최대 200 웨이퍼/시간이며 유기 및 무기 저항 재료와 호환됩니다. UltraStep 1500은 전체 노출 모드 (병렬 및 스캔 정렬 모두), 마스크 편집, 강력한 노출 패턴 (pattern-in-original) 시퀀스 옵션 등 다양한 노출 도구를 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 탁월한 하드웨어 및 소프트웨어 시스템 확장성을 위해 설계되었으며 프로세스 또는 구성 요소 기술 전략 및 애플리케이션 개발을 위한 혁신적인 플랫폼을 제공합니다. 운영 비용을 절감하기 위해 ULTRATECH UltraStep 1500은 고급 에너지 효율성 등급, 낮은 유지 관리 요구 사항, 최소 공간 설치 공간 등을 갖추고 있습니다. 또한 자동 자동 진단 시스템 (Automated Self Diagnostic System) 이 포함되어 있어 칩 제조 도구의 성능을 지속적으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 진단 자산 (Diagnostic Asset) 은 시스템 모니터링 및 제어가 가능한 모니터링 및 제어 모델과 함께 작동합니다. 전반적으로 UltraStep 1500은 강력하고, 정확하며, 완전하게 자동화된 웨이퍼 스테퍼로, 칩 제조를 단순화하고, 비용과 시간을 줄여줍니다. 대용량 애플리케이션에 적합하며 칩 제조 (chip manufacturing) 를 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다.