판매용 중고 ULTRATECH UltraStep 1500 #293819982
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ULTRATECH UltraStep 1500은 집적 회로 장치, LCD 및 기타 고급 반도체 부품 생산을 위해 설계된 리소그래피 장비입니다. 이 산업 표준 생산 도구는 고급 옵틱, 통합 모션 컨트롤 시스템, 자동 테스트 장비를 사용하여 정확한 웨이퍼 스테퍼 패턴을 만듭니다. 최대 스캐닝 크기가 400mm x 400mm이고 주파수 범위가 0.75 ~ 20kHz인 UltraStep 1500은 10nm, 7nm 및 5nm 어플리케이션용 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. ULTRATECH UltraStep 1500은 연속 파동 레이저 스캐닝 (scanning) 기술을 활용하여 완벽한 원 모양, 선 및 기타 모양을 더욱 정확하고 균일하게 만들고 반복합니다. 레이저 광원은 작은 복제본 마스크 (small replica mask) 를 사용하여 베이스라인으로 조정되며, 이를 통해 각 및 모든 스캔에서 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 고급 이미지 인식 장치 (Advanced Image Recognition Unit) 를 통해 다양한 기능 크기와 모양을 인식할 수 있으며 스캔 패턴을 적절히 조정하도록 프로그래밍할 수 있습니다. UltraStep 1500에는 최적의 스캐닝 속도를 제공하기 위해 고급 모션 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 고속 스캔 애플리케이션의 경우 최대 500m/s 의 검색 속도를 선택할 수 있습니다. 기계는 또한 가변 레이저 전력을 허용하여 빔 직경, 파장, 학생 크기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 가변 레이저 전원은 가변 동작 제어 도구 (Variable Motion Control Tool) 와 연결되어 동적 스캔 속도와 전력 분배를 생성합니다. 생산 프로세스의 정확성과 결함을 파악하기 위해 ULTRATECH UltraStep 1500은 통합 자동 테스트 장비를 갖추고 있습니다. 이 자동 테스트 장비를 사용하면 프로세스 내 모니터링, 성능 확인, 결함 감지 등을 수행할 수 있습니다. 또한, 감지된 결함의 경우 경보를 트리거하거나 수정 조치 (corrective action) 를 취하도록 에셋을 추가로 프로그래밍 할 수 있습니다. 전반적으로 UltraStep 1500 (UltraStep 1500) 은 높은 정밀도로 최고의 성능을 제공하도록 설계되어 집적 회로와 장치 제작에 이상적인 스테퍼입니다. 이 모델의 고급 기능, 정확한 스캐닝 기계 (Scanning Machinery) 및 프로세스 내 자동 테스트 장비 (Automatic Test Equipment) 는 하이엔드 집적회로 및 기타 최첨단 장치 생산에서 품질 및 신뢰성에 대한 업계 표준을 충족시킵니다.
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