판매용 중고 ULTRATECH UltraStep 1500 #293671472

ULTRATECH UltraStep 1500은 최첨단 고밀도 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 반도체 photomask 제조, photolithography 및 circuit metrology의 응용 분야를 위해 설계되었습니다. UltraStep 1500은 높은 반복성, 정확성, 빠른 주기, 다양한 기능의 검사 및 측정 기능을 갖추고 있습니다. ULTRATECH UltraStep 1500은 완전하게 자동화된 웨이퍼 스테퍼로, 사용자에게 친숙한 작동을 위한 직관적인 터치 스크린 디스플레이를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 200mm 및 300mm 웨이퍼 모두에 대해 조정 가능한 웨이퍼 홀더를 통해 뛰어난 jigging 유연성을 제공합니다. 또한, 두꺼운 필름, 기판, 유리 및 반 도체를 포함한 다양한 기판을 수용합니다. UltraStep 1500은 정확성과 반복성을 높이기 위해 대구경, 고성능 렌즈 프레임과 다양한 고급 옵틱 (optic) 요소를 갖추고 있습니다. 여기에는 독자적인 렌즈 (lens) 디자인이 포함되며, 장거리 (work distance) 를 제공하여 높은 해상도의 성능을 유지하면서 가용 노출 영역을 증가시킵니다. 스테퍼는 또한 고해상도 갈보 스캐너, 빠르고 정확한 인코더 장치, 복잡한 노출을위한 고급 레이저 자동 초점 (advanced laser autofocus) 을 사용합니다. ULTRATECH UltraStep 1500은 다양한 도량형 도구와 쉽게 통합할 수 있도록 다양한 스테이지 구조로 설계되었습니다. 이를 통해 자동 이미지 캡처, 가장자리 감지 및 손실 영역 측정이 가능합니다. 이 기계는 또한 모듈 식 조명 설계와 반복 가능하고 신뢰할 수있는 이미징을 위해 High-Q 반복성을 갖춘 정확한 광학 정렬 도구 (Optical Alignment Tool) 를 제공합니다. UltraStep 1500에는 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 및 언로딩 (unloading) 을 위한 로봇 처리 시스템과 쉽게 통합되는 고정밀 스테이지 에셋이 장착되어 있습니다. 로우 드리프트 모션 컨트롤러 (Low-drift Motion Controller) 는 프로덕션 실행 내내 공차를 유지할 수 있도록 정확하고 반복 가능한 위치를 더욱 보장합니다. 전반적으로 ULTRATECH UltraStep 1500은 정교하고 사용자 친화적 인 웨이퍼 스테퍼로, 사진 마스크 제작, 리소그래피 및 도량형의 정밀 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 고성능 옵틱과 강력한 스테이지 모델은 정확성과 반복성을 제공하는 반면, 모듈식 구성 요소, 로봇 로딩 (robotic loading), 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 빠른 주기를 보장하고 기존 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.