판매용 중고 ULTRATECH UltraStep 1500 #293650957
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ULTRATECH UltraStep 1500은 반도체 웨이퍼 처리를 위한 안정적이고 고성능 머신입니다. 고급 사진 촬영 응용 프로그램 (photolithography application) 을 위해 설계되었으며, 직경이 최대 200mm 인 모든 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 생산하는 데 적합합니다. 컴퓨터에는 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있어, 사용자가 높은 정확도와 높은 처리량을 얻을 수 있습니다. 이 기계는 고유 한 선형 서보 모터 (linear servo motor) 를 사용하여 수평, 수직 단계를 구동하여 정렬 및 웨이퍼 배치에 필요한 정밀도를 제공합니다. 이 단계는 부드럽고 효율적인 워크플로우 (workflow) 를 제공하도록 설계되었으며, 최소한의 유휴 시간으로 최대 850 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 또한 노출 수준을 모니터링하고 다른 기판 및 조건에 맞게 자동으로 조정하는 자동 노출 시스템 (Automated Exposure System) 이 통합되어 있습니다. UltraStep 1500에는 고정밀 인코더, 고해상도 CCD 렌즈 등 다양한 최첨단 도구와 기술이 장착되어 있습니다. 따라서 사용자가 최소한의 오류로 웨이퍼의 크기와 모양을 정확하게 측정할 수 있습니다 (영문). 이 기계는 또한 웨이퍼 크기 교정 시스템 (wafer size calibration system) 을 포함하여 특정 요구 사항에 맞게 웨이퍼 크기를 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 ULTRATECH UltraStep 1500은 여러 독점 소프트웨어 시스템을 사용하여 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 예를 들어, 소프트웨어는 기판 및 조건에 따라 자동으로 최고의 노출 설정 (exposure settings) 을 계산할 수 있으므로 최적의 노출 (exposure) 을 쉽게 유지할 수 있습니다. 또한 다양한 이미징 형식을 지원하며, 기계에는 또 다른 다용도 레이어를 추가합니다. 전반적으로 UltraStep 1500은 강력하고 정교한 웨이퍼 스테퍼로, 사용자에게 매우 정확하고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적이고 자동화된 기능을 통해 부드럽고 효율적인 워크플로우 (workflow) 를 구축할 수 있으므로 유휴 시간 (miniment idle time) 을 최소화하면서 wafer 배치를 신속하게 처리할 수 있습니다. 다용도 소프트웨어 및 고급 이미지 형식 지원으로 인해 사진 (photolithography) 응용 프로그램에 이상적인 선택이 됩니다.
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