판매용 중고 ULTRATECH Titan II #9374642
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ULTRATECH Titan II는 photolithography, CVD (chemical vapor deposition) 및 PVD (physical vapor deposition) 와 같은 자동 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능, 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 컴팩트 (compact) 장치는 다양한 요구 사항을 충족하는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 타이탄 II (Titan II) 는 발사 및 추적 선형 동작 장비로 인해 매우 정밀하고 반복성이 있으며, 이는 자동 웨이퍼 처리 및 정확한 위치 정확성을 지원합니다. 또한 다중 패턴 제어 모드를 통합하여 프로세스 반복성과 정확성을 크게 향상시킵니다. 이 시스템은 하드웨어/소프트웨어 구성 요소에 신속하게 액세스할 수 있는 모듈식 (Modular) 설계를 통해 신속한 유지 관리 및 맞춤형 구성을 지원합니다. 웨이퍼 스테퍼는 이중 축, 이미지 처리 기반 시스템을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 찾기, 스캔, 색인 및 측정합니다. 인클로저된 트랙 카메라 포트에 있는 일련의 고성능 옵틱 (optic) 과 비디오 카메라 (video camera) 는 상세한 이미징을 제공하며 레티클 정렬 중 초점 길이를 측정합니다. 이러한 기술은 운영 프로세스가 최적화되도록 강력한 제어 수준을 제공합니다 (영문). 또한 ULTRATECH Titan II에는 강력한 임베디드 프로세서 및 통합 소프트웨어를 갖춘 내장 FPGA (Field-Programmable Gate Array) 제어 장치가 포함되어 있어 동적 패턴 제어 알고리즘과 빠른 처리가 가능합니다. 외부 인터페이스 및 제어 시스템은 TCP/IP, 이더넷, Modbus Ethernet 등 다양한 통신 프로토콜을 지원하므로 데이터 전송, 소프트웨어, 하드웨어 환경, 도구 성능 등을 원격으로 제어할 수 있습니다. 타이탄 II (Titan II) 는 자동 웨이퍼 처리 작업에서 정확성과 정확성이 필요한 모든 실험실 또는 생산 환경에 적합한 도구입니다. 고급 기능과 컨트롤은 프로세스 반복성 (repeatability) 과 안정성 (안정성) 을 보장하며, 견고한 성능과 설계를 통해 신뢰성과 비용 효율성을 높일 수 있습니다.
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