판매용 중고 ULTRATECH Titan 4700 #293751572

ULTRATECH Titan 4700은 다중 패턴 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 사진을 각도· 깊이로 찍어 실리콘· 세라믹· 복합재 등 다양한 기판에 고해상도 (고해상도) 무늬를 전달할 수 있다. 타이탄 4700 (Titan 4700) 은 프로세스 자동화 및 도량형 기능을 고해상도 이미징 장비와 결합하여 주기 시간을 줄이고 운영을 단순화하도록 설계되었습니다. 이미징 시스템은 고급 고속 광학과 초박형 포토마스크 (photomask) 를 사용하여 선형 이미지 왜곡의 0.5% 미만인 HD 이미지를 생성합니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 노출 도구의 노출 특성을 최적화하여 패턴 처리 중 정밀도를 높입니다. 이 장치는 강력한 고속 프로세서와 디지털 비디오 카메라로 구동되어 정확성과 유연성이 향상되었습니다 (영문). 빠른 처리 기능을 통해 스테퍼는 더 작은 photomask에서 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 노출 도구에는 최대 초점을위한 원격 중심 스캔 모드 (telecentric scan mode for maximum focus) 및 다양한 기판에서 매우 정확한 이미징을 위해 최적화된 좁은 각도 노출 모드 (optimized narrow-angle exposure mode) 를 포함한 여러 노출 형태가 있습니다. ULTRATECH Titan 4700에는 다중 단계 리소그래피 프로세스의 효율성을 향상시키는 자동 정밀 정렬 장치 (automated precision alignment machine) 도 포함되어 있습니다. 완전 자동 정렬 도구를 사용하여, 기계는 서브 미크론 정밀도로 마스크 위치를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 전반적인 주기 시간을 줄이고 고수율 패턴을 보다 효율적으로 생산할 수 있습니다. 에셋은 또한 고해상도 성능을 가능하게 하는 고급 도량형 (alignment metrology) 및 패턴 도량형 (pattern metrology) 을 제공합니다. 정렬 도량형 (Alignment metrology) 은 패턴의 정확성과 품질을 보장하기 위해 프로세스 내 측정 및 진단 평가를 허용합니다. 패턴 도량형 (Pattern Metrology) 은 패턴 프로파일 분석, 횡단면 피쳐 매핑 및 패턴 비교와 같은 추가 측정을 제공하여 품질 제어를 높입니다. Titan 4700은 석판화 프로세스를 최적화하고 처리량을 늘리기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 이미징 모델 (Advanced Imaging Model) 과 복잡한 패턴화 (Patterning) 기능은 다양한 기판에서 고해상도 이미징 및 정확한 패턴을 제공합니다. 자동화된 정밀 정렬 (precision alignment) 및 도량형 (metrology) 기능을 통해 고품질의 결과와 향상된 주기 시간 성능을 구현할 수 있습니다. ULTRATECH Titan 4700은 다단계 리소그래피 프로세스 및 고수율 패턴 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.