판매용 중고 ULTRATECH Titan 4700 #293628670

ULTRATECH Titan 4700 웨이퍼 스테퍼는 마이크로 일렉트로닉 장치의 빠른 제작을 위해 설계된 최첨단 정밀 리소그래피 머신입니다. 팬 아웃 웨이퍼, RF 장치, 디스플레이, 기판 및 기타 마이크로 구조화 구성 요소의 대용량 생산을 수행 할 수 있습니다. 타이탄 4700 스테퍼 (Titan 4700 stepper) 는 고속, 다중 레벨, 스캔 이미징 장비를 특징으로하여 웨이퍼 표면에서 포토 esist 레이어의 정확하고 균일 한 증착과 전송을 가능하게합니다. 반복 가능한 정밀도로 ULTRATECH Titan 4700은 12.5 및 15.2 cm 웨이퍼에서 서브 미크론 기능을 대량 생산하는 데 이상적입니다. Titan 4700 스테퍼에는 etch 성능 및 필름 품질 제어를 위해 HeNe 및 KrF 빔을 모두 생산하는 듀얼 레이어, 이중 파장 레이저 소스 인 Nicolette 듀얼 빔 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 비둘기 프리즘 빔 스플리터 (dove-prism beam splitter) 와 한 쌍의 와이드 필드 콘덴서 렌즈 (widefield condenser lense) 가 특징이며, 뛰어난 정확도로 구성 요소를 0.25äm까지 쉽게 이미징 할 수 있습니다. 또한, ULTRATECH Titan 4700은 가장 정확한 생산 가능성을 보장하기 위해 매우 정확한 스테퍼 (stepper) 정렬을 제공하며, 광학 장치의 수차를 수정하기위한 적응 광학 (adaptive optic) 을 제공합니다. Titan 4700 스테퍼는 웨이퍼 레벨, 카세트-카세트 처리 기를 사용하여 웨이퍼의 빠르고 효율적인 로딩 및 언로드를 용이하게합니다. 고급 진공 및 가스 처리 시스템은 깨끗하고 고품질 웨이퍼 생산에 필요한 환경을 제공합니다. ULTRATECH Titan 4700 사용자는 우수한 에치 (etch) 반복성을 위해 와퍼를 자동으로 정렬하도록 기계를 구성 할 수도 있습니다. 또한, 마스크 및 레티클을 안정적이고 반복 가능한 처리를 위해 와퍼와 매우 정확하게 정렬하는 UMARA ™ (Universal Mask and Reticle Alignment) 도구를 프로그래밍 할 수 있습니다. 마지막으로 Titan 4700에는 process fiducial 마크, dual-level stage 포지셔닝, 자동 노출 및 초점 추적, 필드 매칭, 맞춤형 레시피 로딩 등의 생산성 향상 기능이 탑재되어 있습니다. 이러한 기능은 ULTRATECH Titan 4700의 큰 기능 크기와 일치하지 않는 정밀도와 함께, 이 웨이퍼 스테퍼는 비용 효율적인 대용량 마이크로 전자 부품 생산에 이상적입니다.