판매용 중고 ULTRATECH Titan 4700 #149700

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ULTRATECH Titan 4700
판매
ID: 149700
빈티지: 1997
Wafer stepper, 5", 6" & 8" Semi-auto 2.0 micron lens 8" Universal Chuck 1996 vintage Pre-aligner-Alignment System: MVS overlay <500nm, 3s 1000W illuminato Includes chamber 1997 vintage.
ULTRATECH Titan 4700은 대용량, 고정밀 사진 석판 촬영을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 다양한 기능과 유연성을 제공하여, 제조업체가 가장 상세하고, 고해상도 이미지를 생성하고, 탁월한 처리량과 비용 대비 효과를 제공합니다. 타이탄 4700 (Titan 4700) 은 5축 웨이퍼 스테퍼로, 제품 복잡성이나 볼륨에 관계없이 처리량 및 최대 정확도를 향상시키기 위해 ULTRAFETCH 기술로 설계되었습니다. 시스템은 풀 필드 컨택트 이미징 열 (full-field contact imaging column), 고해상도를위한 레이어가있는 넓은 필드 3 차원 동작 컨트롤러 (motion controller) 및 고속 스테이지로 구성됩니다. 초고속 (ULTRAFETCH) 기술은 고속 작동 중에도 최고 수준의 정확도를 위해 스캐닝 및 투영 프로세스를 결합합니다. ULTRATECH Titan 4700은 풀 필드 평면 이미징 및 ULTRAFETCH 기술로 설계되었으며, 정밀 광학을 활용하여 넓은 지역에서 평평하고 일관성 있고 고해상도 이미지를 제공합니다. 이 장치는 또한 다양한 선택과 해상도를 갖춘 인라인 (in-line) 광학 기능을 제공하며, 제조업체는 소규모, 세부적인 기능, 또는 넓은 영역에 집중할 수 있습니다. 타이탄 4700 (Titan 4700) 은 스테이지와 레티클 모두에 대한 독립적 인 제어 위치를 포함하여 고급 5 축 모션 컨트롤 머신을 갖추고 있으며, 포지셔닝 시 제조업체의 유연성과 정확성이 높습니다. 또한 사용자 친화적 인 설계, 단순하고 직관적인 운영, 향상된 안전성, 신뢰성을 제공합니다. ULTRATECH Titan 4700은 고속 스테이지와 5 개의 자유 축을 가진 3 차원 동작 컨트롤러를 통합합니다. 여기에는 단일 사이트 및 멀티 사이트 레티클 선택, 제트 드라이브 (jet drive) 또는 낮은 왜곡을 위해 미세 거품 제어 (fine bubble control) 기능을 제공하는 단계 선택이 포함됩니다. 타이탄 4700 (Titan 4700) 은 또한 대부분의 일반적인 웨이퍼 기판과 호환되도록 설계되었으며, 사용자가 한 기판에서 다른 기판으로 도구를 재조정하지 않고도 다른 기판으로 쉽게 이동할 수 있습니다. 또한, 자산은 낮은 유지 관리 설계를 제공하며, 구성 요소를 윤활유 또는 조정할 필요가 없습니다. 전반적으로, ULTRATECH Titan 4700 고급 웨이퍼 스테퍼는 처리량, 정확성 및 비용 효율성 측면에서 photolithography 응용 프로그램의 가장 높은 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 풀 필드 평면 이미징, ULTRAFETCH 기술, 고속 스테이지 및 3 차원 모션 컨트롤러를 갖춘 Titan 4700은 최적의 사진 촬영 제작을위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다.
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