판매용 중고 ULTRATECH Star 100 #293617180
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ID: 293617180
빈티지: 2006
Stepper
Illumination field size: 39 x 18 mm
Light pipe type: Diffuser
Field size: 30 x 18 mm
MVS Type:
Patmax
Series 2 bridge
Flipper less
Reticle size: 3" x 5"
PC With windows 2000 Platform
Air probe type: Round
Edge switch: Air probe
Theta stage: Pop-up
Wafer handler:
Round chuck, 4"
Autoloader, 4"
Options:
Chuck and autoloader, 5" and 6"
Upgraded to automation robot system
2006 vintage.
ULTRATECH Star 100은 고급 광석기 공정을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 도량형 (Metrology), 검사 (Inspection) 등 다양한 중앙 프로세스에 대한 뛰어난 해상도와 정확도를 제공하여 보다 쉽고 효율적인 생산 프로세스를 제공합니다. ULTRATECH STAR100은 6 인치에서 12 인치까지 광범위한 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 고급 사진 리스토그래픽 스테퍼입니다. 350 W 램프, 0.25 - 4.00 NA 수치 조리개 catadioptric 조명과 함께 10X/6X 광 감소의 고출력 UV 소스가 특징입니다. 이를 통해 장치는 필드 깊이, 초점 깊이, 고대비 (High-Contrast) 이미지 기능으로 고해상도 이미지를 만들 수 있습니다. Star 100은 웨이퍼 평면과 스텝 앤 리피트 레벨에서 포지셔닝 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 빠른 반복 위치 지정 (quick-repeat positioning) 과 높은 단계 및 반복 속도 (high-step-and repeat rate) 를 통해 공정의 정확도를 높이면서 더 큰 프로세스 영역을 보다 빠르게 처리할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 동력 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있어 빠르고 정확한 웨이퍼 정렬이 가능합니다. 또한 STAR100 은 사용하기 쉽고 간편한 대화형 사용자 인터페이스를 제공합니다. 사용자는 호스트 (host of application software) 에 액세스하여 데이터를 그래픽으로 표시하고 분석할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 그래픽 및 숫자 형식으로 데이터를 검토할 수 있습니다. 또한, 사용자 인터페이스를 사용하여 노출 매개변수를 설정하고 제어할 수도 있습니다. ULTRATECH Star 100은 사진 촬영 웨이퍼 스테퍼 산업 (photolithography wafer stepper industry) 의 리더로서 고급 어플리케이션에 뛰어난 해상도와 정확성을 제공합니다. 이 제품은 전동식 웨이퍼 포지셔닝 시스템과 손쉽게 설정하고 작동할 수 있는 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있습니다. 또한 고출력 (High Power) UV 소스를 사용하면 필드 깊이와 초점 깊이가 좋은 고해상도 이미지를 생성할 수 있으며, 각 이미지에 보다 세밀한 세부 (Details) 를 생성할 수 있습니다. ULTRATECH STAR100은 강력하고 신뢰할 수있는 photolithographic 스테퍼가 필요한 사용자에게 적합한 솔루션입니다.
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