판매용 중고 ULTRATECH Spectrum 3e #9249076

ULTRATECH Spectrum 3e (ULTRATECH Spectrum 3e) 는 새로운 석판화 애플리케이션의 요구에 비용 효율적인 솔루션으로 설계된 고급, 중급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. 스펙트럼 3e (Spectrum 3e) 는 정확성과 반복성으로 최고 품질의 웨이퍼 이미지를 제작할 수 있으며, 일관된 성능을 위해 중요한 리소그래피 (lithography) 매개변수에 대한 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. ULTRATECH Spectrum 3e는 다양한 고급 기능과 강력한 도구를 통해 처리량 및 출력 정확도를 높입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스 장치 (Interfacing Equips) 를 통해 이미징 매개변수와 빠른 설정을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 스테퍼는 빠른 처리 시간 (Turnaround Time) 과 높은 품질의 결과에 적합합니다. 기계의 리소그래피 헤드는 다양한 수치 조리개 및 편향 감지 (deflection sensing) 를 제공하며, 정확성을 손상시키지 않고 단계 크기와 반복 성을 향상시킵니다. 또한, 통합 광학 이퀄라이저는 도전적인 레티클을 입력하고 정렬하는 데 정확한 정확성을 제공합니다. 또한 스테퍼에는 3D 레이어와 마스크 이미지 높이의 비접촉, 비파괴 측정을 제공하는 통합 오버레이 측정 시스템이 있습니다. 또한, UV LED (UV LED) 또는 수은 호 (Mercury Arc) 램프를 노출에 사용할 수 있으며, 낮은 입자 도입 및 이미지 품질을 유지하면서 프로세스 및 해상도 요구 사항을 모두 최적화할 수 있습니다. 통합형 레티클 검사 장치에는 뛰어난 해상도 (resolution) 기능이 있어 처리량 및 수익률이 높습니다. 스펙트럼 3e (Spectrum 3e) 의 고급 레티클 스캐너 (reticle scanner) 는 0.3 미크론 정도의 결함을 정확하게 감지하여 가장 어려운 결함과 이상조차 감지 할 수 있습니다. 이 시스템은 비스듬한 보기 및 프로파일 보기의 2D 및 3D 스캔 기능도 지원합니다. 또한 ULTRATECH Spectrum 3e (ULTRATECH Spectrum 3e) 는 고성능, 비용 효율적인 도구로서의 상태에 기여하는 다양한 기능을 제공합니다. 즉, 임계 매개변수가 예기치 않게 변경될 때 사용자에게 경고를 보낼 수 있는 진공 보류 (vacuum hold downs), 높이 조정 단계 (adjustable height stage) 및 자동 수준 모니터링 (automatic level monitoring) 자산을 제공합니다. 또한, 고급 MOSFET 드라이 펌프는 기압 및 가스 흐름을 제어하는 반면, 대량 흐름 컨트롤러는 깨끗한 환경을 보장하고 오염을 예방하는 데 도움이됩니다. 스펙트럼 3e (Spectrum 3e) 는 신뢰할 수 있고 유능한 웨이퍼 스테퍼로, 모든 리소그래피 요구에 매우 정확하고 반복 가능한 이미징 솔루션을 제공합니다. 강력한 기능과 첨단 기술을 통해 ULTRATECH Spectrum 3e 는 탁월한 성능을 제공할 수 있으며, 그 결과 품질이 향상되고 수익률이 높아집니다.