판매용 중고 ULTRATECH Spectrum 3 #9395523

울트라 테크 스펙트럼 3 (ULTRATECH Spectrum 3) 은 마이크로 전자 장치 제작 프로세스에 대한 정확한 처리 및 최적화를 제공하기 위해 개발 된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 고해상도 리소그래피 (lithography) 를 위해 설계되었으며, 작은 피쳐 크기를 제조하는 어려운 프로세스에 정확하고 높은 처리량을 제공합니다. 스펙트럼 3은 반도체 웨이퍼에 다양한 고급 패턴을 쓸 수있는 강렬한 자외선 (UV Light) 을 생성하는 254nm 레이저 기반 시스템을 특징으로합니다. 이 스테퍼에는 고급 이미징 기능도 있습니다. 웨이퍼 성능 매트릭스 (wafer performance matrix) 의 슬릿 스캔 이미징은 각 결정 요소의 노출을 최적화하여 최고 수준의 복사본을 제공합니다. 또한 DIS (Digital Image Stabilization) 기능은 뛰어난 오버레이 정렬과 부드러운 이미지 출력을 제공합니다. ULTRATECH Spectrum 3은 높은 심도 (Depth of Field) 와 처리량을 높이기 위한 최적화된 포커스 시스템으로 설계되었습니다. 또한 고급 옵틱은 5 인치 및 8 인치 웨이퍼를 모두 지원하는 동일한 초점과 오버레이 정확도를 유지하면서 기판 크기 기능을 증가시킵니다. 또한 SOG, 깊은 UV 에폭시 및 PIBC를 포함한 다양한 석판 재료와 호환됩니다. 고급 리소그래피 기능 외에도 Spectrum 3은 다양한 특수 기능으로 설계되었습니다. 기판 라우팅, 현장 및 교차 사이트 스티칭, 직렬 오버레이 정렬 등 다양한 고급 기능을 지원합니다. 또한 높은 처리량과 정확도로 인해 리소그래피 제어에 대한 피드백 (feedback) 이 필요한 시간이 줄어듭니다. 또한, 이 스테퍼는 화학 내성 (chemical-resistance) 구조로 설계되어 전통적인 스테퍼 (stepper) 의 범위를 벗어난 노출 및 처리 조건을 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 ULTRATECH Spectrum 3은 고급 마이크로 전자 장치 제조를 위해 설계된 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 고해상도 리소그래피 (lithography) 기능과 특수화된 기능을 통해 탁월한 처리량과 정확성을 제공하므로 매우 정확하고 기술적으로 진보된 운영을 위한 완벽한 선택입니다.